【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種靶材，尤其涉及一種用于真空濺鍍的靶材。
技術介紹
由于目前應用于真空濺鍍作業的靶材需要成型到一定的大尺寸之后，再進行修整成所需尺寸的靶材,這樣靶材的成本很高,而需要不同靶材的情況下,則需要兩個靶材,這樣才能達到所需的濺鍍效果，那么如何制作一種真空濺鍍的靶材，使之可以用一個靶材達到兩個靶材所達到的效果，以節約大量成本，正是專利技術人要解決的問題。
技術實現思路
本技術解決了真空濺鍍套色等制程中需要兩塊靶材的不足，用一塊靶材即可達到兩塊靶材的效果。其具體技術方案是一種用于真空濺鍍的靶材，所述靶材為金屬靶A和金屬靶B兩兩交錯固定連接。作為優選，所述金屬靶A為銅靶，金屬靶B為鋁靶。作為優選，所述金屬靶A為鈦靶，金屬靶B為銀靶。作為優選，所述金屬靶A為合金靶，金屬靶B為合金靶。本技術解決了真空濺鍍需要兩塊靶材的成本浪費的問題，用一塊靶材達到了兩塊靶材所達到的效果。附圖說明圖I為本技術結構示意圖。具體實施方式實施例I下面結合圖I對本技術實施例I作進一步詳細描述一種用于真空濺鍍的靶材，其特征在于，所述靶材為金屬靶Al和金屬靶B2兩兩交錯固定連接。所述金屬靶Al為銅靶，金屬靶B2為鋁靶。實施例2下面結合圖I對本技術實施例2作進一步詳細描述一種用于真空濺鍍的靶材，其特征在于，所述靶材為金屬靶Al和金屬靶B2兩兩交錯固定連接。所述金屬靶Al為鈦靶，金屬靶B2為銀靶。實施例3下面結合圖I對本技術實施例3作進一步詳細描述一種用于真空濺鍍的靶材，其特征在于，所述靶材為金屬靶Al和金屬靶B2兩兩交錯固定連接。所述金屬靶Al為合金靶，金屬靶B2為合金靶。權利要求1.一種用于...
【技術保護點】
一種用于真空濺鍍的靶材，其特征在于，所述靶材為金屬靶A（1）和金屬靶B（2）兩兩交錯固定連接。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄭志銘，
申請(專利權)人：浙江柏騰光電科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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