【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)屬于硅單晶生產(chǎn)中的一種提拉承重裝置,具體用于直拉硅單晶生長中,大投料量硅晶棒的向上提拉的一種大投料量直拉硅單晶用的籽晶配套結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
在直拉硅單晶生長時,首先將硅料、摻雜劑在石英坩堝內(nèi)熔化,然后使用一定晶向的硅單晶作為籽晶,從上部插入硅溶液,經(jīng)引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩后逐步向上提拉,進(jìn)而使硅溶液以籽晶為種子生長成硅單晶棒。目前,在太陽能級直拉硅單晶生長領(lǐng)域,隨著投料量的增加,單個晶棒的重量也隨之增加。現(xiàn)在太陽能級直拉硅單晶生長使用的常規(guī)籽晶,由于結(jié)構(gòu)上容易導(dǎo)致應(yīng)力集中,當(dāng) 晶棒重量增加后,導(dǎo)致在實際生產(chǎn)過程中,籽晶斷裂事故發(fā)生的頻率有所增加,從而帶來危險和利潤損失。因此需要對現(xiàn)有籽晶結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)。
技術(shù)實現(xiàn)思路
技術(shù)目的本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種大投料量直拉硅單晶用的籽晶配套結(jié)構(gòu)。為了解決上述技術(shù)問題,本技術(shù)公開了一種大投料量直拉硅單晶用的籽晶配套結(jié)構(gòu),包括籽晶桿、重錘以及墊圈,所述籽晶桿截面為T型,重錘內(nèi)設(shè)有與所述籽晶桿適配的T型通孔,所述墊圈位于所述重錘的T型通孔的臺階面上。籽晶桿的上部在與重錘的配合時,通過放置碳碳復(fù)合材料墊片,以減少間隙,防止籽晶桿插入硅熔體時上浮。本技術(shù)中,所述墊圈為碳碳復(fù)合材料制成的墊圈。考慮到籽晶在轉(zhuǎn)動時,依靠摩擦力與重錘的轉(zhuǎn)動同步,碳碳復(fù)合材料墊圈的表面粗糙。有益效果本技術(shù)的一種大投料量直拉硅單晶用的籽晶配套結(jié)構(gòu),通過籽晶桿結(jié)構(gòu)和重錘結(jié)構(gòu)的優(yōu)化組合,同時在籽晶桿和重錘間連接,使用低密度的碳碳復(fù)合材料,均勻地分解了大投料量晶棒在向上提拉過程中的重力。適用于大投料量直拉硅單晶的提拉,結(jié)構(gòu)簡單,操作簡便, ...
【技術(shù)保護(hù)點】
一種大投料量直拉硅單晶用的籽晶配套結(jié)構(gòu),其特征在于,包括籽晶桿、重錘以及墊圈,所述籽晶桿截面為T型,重錘內(nèi)設(shè)有與所述籽晶桿適配的T型通孔,所述墊圈位于所述重錘的T型通孔的臺階面上。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:孟召標(biāo),伍耀川,
申請(專利權(quán))人:蘇州協(xié)鑫工業(yè)應(yīng)用研究院有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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