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    一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器制造技術

    技術編號:8343910 閱讀:273 留言:0更新日期:2013-02-17 14:32
    本實用新型專利技術提供了一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器,屬于聲表面波領域。它解決了現有的聲表面波諧振器插損過大的問題。本實用新型專利技術聲表面波諧振器包括壓電晶片、設置于壓電晶片上的叉指換能器以及設置于叉指換能器兩側的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣;所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成,所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經過高頻FEM優化。本實用新型專利技術諧振器金屬結構尺度較小、其中心頻率為569.3MHz,頻率偏差為±20kHz,插入損耗為1.5dB。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及聲表面波器件
    ,尤其涉及一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器。技術背景當具有壓電效應的晶體受到外應力作用時,會產生與應力成正比的電場;反之,當晶體受到外電場作用時,晶體同時也產生與外電場成正比的彈性形變,該彈性形變激發出聲波,激發的聲波沿晶體表面傳播形成聲表面波。利用上述聲表面波的傳播即可實現電信號到聲信號以及聲信號到電信號的轉換。聲表面波諧振器是指在壓電晶片上制作叉指換能器,同時在叉指換能器兩側還設置有反射陣列。該叉指換能器可以完成聲-電轉換,該反射陣列形成分布式諧振腔,在某一頻率上,當該諧振腔的長度等于半波長的整數倍時即形成聲諧振,該聲諧振由叉指換能器轉換為電諧振從而實現聲表面波諧振器的功能。現有的聲表面波諧振器由于其叉指換能器和反射陣列制作的不完善,具有頻率偏差較大、插入損耗較大的缺點。并且現有的聲表面波諧振器的中心頻率一般為315MHZ、433MHZ,該頻段復用率高,信道擁堵現象嚴重,構成專用無線系統時,抗干擾及安全性差。
    技術實現思路
    本技術的目的在于克服現有技術中的不足,提供了一種安全性好、損耗較低的聲表面波諧振器。本技術解決其技術問題采用的技術方案是提出一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器,其包括壓電晶片、設置于壓電晶片上的叉指換能器以及設置于叉指換能器兩側的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣;所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成,所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經過高頻FEM優化。使得膜厚精度和一致性高,諧振器頻率偏差小。所述高頻FEM是一種基于有限元理論的結構分析方法。進一步地,所述聲表面波諧振器的中心頻率為569. 3MHZ,頻率偏差為±20kHz,插入損耗為I. 5dB。進一步地,所述叉指換能器包括平行設置的第一換能器電極條以技第二換能器電極條,所述第一換能器電極條以及第二換能器電極條之間等間距的排布有多條金屬條,其中部分金屬條將第一換能器電極條和第二換能器電極條連接,部分金屬條由第一換能器電極條向第二換能器電極條延伸且不與第二換能器電極條連接,部分金屬條由第二換能器電極條向第一換能器電極條延伸且不與第一換能器電極條連接。進一步地,所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣結構相同,均包括平行設置的第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條,第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條之間等間距的連接有多條短路金屬條,該多條短路金屬條均將第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條連接。本技術聲表面波諧振器通過設計叉指換能器的結構并采用銅鋁合金質的結構材料使得其中心頻率較常規聲表面波諧振器高,金屬結構尺度較小、插入損耗較低、諧振器頻率偏差較小。同時,本技術聲表面波諧振器的諧振頻段避開了信號擁堵的通用頻段,用于專用無線系統時,安全性高,抗干擾能力強。附圖說明圖I是本技術聲表面波諧振器的結構示意圖;圖2是圖I中叉指換能器的結構示意圖;圖3是本技術聲表面波諧振器的封裝結構示意圖。具體實施方式以下是本技術的具體實施例并結合附圖,對本技術的技術方案作進一步的描述,但本技術并不限于這些實施例。請參照圖1,圖I為本技術聲表面波諧振器的結構示意圖,圖I中,聲表面諧振器包括壓電晶片5,設置于壓電晶片5上的叉指換能器6,設置于叉指換能器6兩側的第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8。本技術中,叉指換能器6與第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8均由銅鋁合金材料制成,具有質地致密,諧振性能好,同時中心頻率較常規聲表面波諧振器高,金屬結構尺度較小的優點,因而可以實現較低的插入損耗。更優選地,本技術中,制成叉指換能器6與第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8的銅鋁合金膜還經過高頻FEM優化,以減小頻偏。請參照圖2,圖2為圖I中叉指換能器6的具體結構示意圖。圖2中,叉指換能器6包括平行設置的第一換能器電極條60以及第二換能器電極條61,第一換能器電極條60以及第二換能器電極條61之間等間距的排布有多條金屬條,其中部分金屬條將第一換能器電極條60和第二換能器電極條61連接,部分金屬條由第一換能器電極條60向第二換能器電極條61延伸且不與第二換能器電極條61連接,部分金屬條由第二換能器電極條61向第一換能器電極條60延伸且不與第一換能器電極條60連接。第一短路指反射陣7以及第二短路指反射陣8結構相同,均包括平行設置的第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條,第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條之間等間距的連接有多條短路金屬條,該多條短路金屬條均將第一反射陣電極條以及第二反射陣電極條連接。請參照圖I、圖3,其為本技術聲表面波諧振器封裝時的結構示意圖。封裝時,第一換能器電極條60以及第二換能器電極條61上還分別連接有用于信號輸入和輸出的第一信號引腳I和第二信號引腳2 ;兩個短路指反射陣的任一反射陣電極條上連接有接地引腳4。封帽9將壓電晶片5覆蓋。在一優選實施例中,壓電晶片5采用石英制成,叉指換能器6以及第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8均由銅鋁合金制成。叉指換能器6以及第一短路指反射陣7和第二短路指反射陣8的厚度均為O. 015至O. 025毫米。在該優選實施例中,聲表面波諧振器的電學性能參數如下表本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器,其特征在于:包括壓電晶片、設置于壓電晶片上的叉指換能器以及設置于叉指換能器兩側的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣;所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成,所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經過高頻FEM優化。

    【技術特征摘要】
    1.一種SR569T20型低頻偏低損耗聲表面波諧振器,其特征在于包括壓電晶片、設置于壓電晶片上的叉指換能器以及設置于叉指換能器兩側的第一短路指反射陣和第二短路指反射陣;所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣由銅鋁合金制成,所述叉指換能器與所述第一短路指反射陣和第二短路指反射陣的厚度經過高頻FEM優化。2.如權利要求I所述的聲表面波諧振器,其特征在于所述聲表面波諧振器的中心頻率為569. 3MHZ,頻率偏差為±20kHz,插入損耗為I. 5dB。3.如權利要求I或2所述的聲表面波諧振器,其特征在于所述叉指換能器包括平行設置的第一換能器電極條以及第二換能器...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:趙成林波王敬元
    申請(專利權)人:臺州歐文電子科技有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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