膜厚不均檢查裝置及方法制造方法及圖紙

本發明專利技術是一種膜厚不均檢查裝置及方法，可獲取明亮度及對比度適合檢查的圖像，而獲得準確檢查結果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的襯底在一方向上移動，一面檢查在襯底的皮膜的膜厚不均，且具備檢測皮膜厚度的膜厚檢測部，光源部包含在攝像部側的反射照明部、及隔著襯底而與攝像部對向的透射照明部，攝像部包括調節與襯底的相對角度的攝像部角度調整機構，反射照明部包含調節反射照明部與襯底的相對角度的反射照明角度調整機構，透射照明部包含調節透射照明部與襯底的相對角度的透射照明角度調整機構，且該裝置包括控制部，其基于來自膜厚檢測部的膜厚信息，控制反射照明角度調整機構及透射照明角度調整機構，調節反射照明及透射照明的光量。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種用以在彩色濾光片的制造步驟等之中，檢查形成在玻璃或透光性樹脂材料等的襯底上的彩色皮膜的厚 度不均(所謂的膜厚不均)的裝置及方法。
技術介紹
以往已知有如下情況在用于平板顯示器的彩色濾光片的制造步驟等之中，由于顏料分散不均一、或因成分凝聚、成膜時振動的影響而產生的膜厚不均，導致色彩不均。為防止發生在產生所述膜厚不均的狀態下繼續制造作業的不良情況，而使用相機與透射照明，檢查有無色彩不均及程度等(例如，專利文獻I)。進而，記載有如下技術使用相機與反射照明，即便形成在襯底表面的層發生各種變化，也能與之對應地清晰地拍攝所產生的不均(例如，專利文獻2)。專利文獻I :日本專利特開2006-234470號公報專利文獻2 :日本專利特開2007-309718號公報
技術實現思路
各種色彩不均是因紅色、藍色、綠色等成膜中任一成膜的一部分包含膜厚不均一的部分(即，膜厚不均)而產生。所述各色成膜的膜厚不均檢查是將作為檢查對象的襯底與攝像部的角度變更，并根據該角度及檢查對象，變更照明的種類、角度或位置而進行，但在膜厚不均難以檢測時，若皮膜整體的膜厚(即，不存在膜厚不均的部分的膜厚，所謂的代表膜厚)不同，則有時無法充分獲得膜厚不均的對比度。因此，在多次檢查經成膜的皮膜的代表膜厚不同的襯底時，即便在相同攝像條件下檢查各個襯底，有時也難以獲得準確的檢查結果。因此，本專利技術的目的在于提供一種對于代表膜厚不同的同一品種的襯底，可基于共通的檢查條件，根據代表膜厚的差異，獲取明亮度及對比度適合檢查的圖像，從而獲得準確檢查結果的。為解決所述問題，技術方案I的專利技術是一種膜厚不均檢查裝置，其特征在于包括襯底移動部，保持著表面形成有皮膜的襯底使之移動；光源部，對所述襯底照射光；攝像部，對所述襯底的形成有皮膜的面的至少一部分進行攝像；及檢查部，基于由所述攝像部拍攝的圖像，檢查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述襯底在一方向上移動，一面檢查形成在所述襯底的皮膜的厚度不均，該膜厚不均檢查裝置包含檢查條件登記部，對與檢查對象品種對應的檢查條件進行設定登記；及代表膜厚檢測部，檢測形成在所述襯底的皮膜的代表膜厚；所述光源部具備反射照明部，配置在所述攝像部側，且對所述襯底照射光；及透射照明部，配置在隔著所述襯底而和所述攝像部對向的位置，且對所述襯底照射光；在所述攝像部中，包含調節所述攝像部和所述襯底的相對角度的攝像角度調整部， 在所述反射照明部中，包含調節所述反射照明部和所述襯底的相對角度的反射照明角度調整部，在所述透射照明部中，包含調節所述透射照明部和所述襯底的相對角度的透射照明角度調整部，該膜厚不均檢查裝置包括控制部，該控制部可基于登記在所述檢查條件登記部的檢查條件、與來自所述代表膜厚檢測部的代表膜厚信息，控制所述攝像部角度調整部、所述反射照明角度調節部、及所述透射照明角度調整部，調節所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。技術方案5的專利技術是一種膜厚不均檢查方法，其特征在于包括襯底移動步驟，保持著表面形成有皮膜的襯底使之移動；攝像步驟，自光源部對所述襯底照射光，拍攝所述襯底的形成有皮膜的面的至少一部分；及檢查步驟，基于由所述攝像部拍攝的圖像，檢查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述襯底在一方向上移動，一面檢查形成在所述襯底的皮膜的厚度不均，且該膜厚不均檢查方法包括檢查條件登記步驟，對與檢查對象品種對應的檢查條件進行設定登記；及代表膜厚檢測步驟，檢測形成在所述襯底的皮膜的代表膜厚；所述光源部構成為包括反射照明部，配置在所述攝像部側，且對所述襯底照射光；及透射照明部，配置在隔著所述襯底而和所述攝像部對向的位置，且對所述襯底照射光；所述攝像步驟是基于登記在所述檢查條件登記部的檢查條件、和所述代表膜厚檢測步驟中檢測出的代表膜厚信息，包括調節所述攝像部和所述襯底的相對角度的攝像部角度調整步驟、調節所述反射照明部和所述襯底的相對角度的反射照明角度調整步驟、調節所述透射照明部和所述襯底的相對角度的透射照明角度調整步驟、及調節所述反射照明或所述透射照明的光量的光量調節步驟。由于使用所述，所以，可對成為膜厚不均對象的皮膜厚度進行測定，設定適合該膜厚的觀察角度、照明的位置及角度、及照明的光量，自動地進行膜厚不均檢查。技術方案2的專利技術是根據技術方案I的膜厚不均檢查裝置，其特征在于包含對同一所述襯底的重復檢查次數進行計數的計數部，且具備根據所述計數次數，變更所述攝像部的角度或所述照明的光量的功能。技術方案6的專利技術是根據技術方案5的膜厚不均檢查方法，其特征在于包括計數步驟，對同一所述襯底的重復檢查次數進行計數；重復檢查步驟，對同一所述襯底檢查至少兩次以上；及根據所述計數次數，變更所述攝像部的角度或所述照明的光量的步驟。 若使用所述，則可在第I次檢查與第2次以后的檢查中，變更觀察角度、照明的位置或角度、或者照明的光量，進行檢查。如此一來，即便是難以第I次便獲取合適的明亮度及對比度的圖像的品種，也可以在第2次以后的檢查中，獲取合適的明亮度及對比度的圖像。因此，即便膜厚不均難以檢測的品種，也可以仔細地進行膜厚不均的檢查。技術方案3的專利技術是根據技術方案2的膜厚不均檢查裝置，其特征在于所述檢查部包含對經所述重復檢查的各個圖像進行多重合成處理的圖像處理部，且具備基于將經所述合成處理的圖像進行多重合成所得的多重合成圖像，檢查膜厚不均的多重合成圖像檢查功能。技術方案7的專利技術是根據技術方案6的膜厚不均檢查方法，其特征在于更包括圖像獲取步驟，在所述重復檢查步驟中，獲取各個圖像；多重合成處理步驟，對所述獲取的各個圖像進行多重合成處理；及多重合成圖像檢查步驟，基于經所述多重合成處理的圖像，檢查膜厚不均。若使用所述，則將對第I次檢查與第2次以后的檢查中獲得的圖像進行多重合成處理，因此，可進行與對某一觀察條件下獲得的圖像進行檢查相比噪聲成分較少的檢查。因此，相較基于僅在I個攝像條件下獲得的整面圖像進行檢查，即便對于僅可獲得微妙的對比度圖像的膜厚不均，也可進行準確的檢查。技術方案4的專利技術是根據技術方案I至3中任一技術方案的膜厚不均檢查裝置，其特征在于使所述攝像部和所述透射照明連結，且所述攝像部角度調整部兼作所述透射照明角度調整部。若使用所述膜厚不均檢查裝置，則可使所述攝像部和所述透射照明一體地旋轉，因此，可節省單獨地調節所述透射照明的角度的機構。因此，可減少位置調整機構的數量，實現裝置成本降低。即便作為檢查對象的皮膜厚度產生變化，也可以與此對應地獲取合適的明亮度及對比度的圖像，從而準確地獲得膜厚不均的檢查結果。附圖說明圖IA是表示實現本專利技術的一例實施方式的平面圖。圖IB是表示實現本專利技術的一例實施方式的側視圖。圖2是表不實現本專利技術的一例實施方式的系統構成圖。圖3A是應用本專利技術的皮膜的每一厚度的照明角度與不均強度的關聯圖。圖3B是應用本專利技術的皮膜厚度與照明角度的關聯圖。圖4是表示實現本專利技術的一例實施方式的流程圖。圖5A是表示實現本專利技術的實施方式第2例的平面圖。圖5B是表示實現本專利技術的實施方式第2例的側視圖。I 膜厚不均檢查裝置 2 襯底移動部2a 上游側移動部2b 下游側移動部3 光源部3a 反射照明部3b 透射照明部4 攝像部9 控制部10 襯底IOv 表示移動方向的箭線11 裝置機架12 輸送架本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種膜厚不均檢查裝置，其特征在于包括：襯底移動部，保持著表面形成有皮膜的襯底使之移動；光源部，對所述襯底照射光；攝像部，對所述襯底的形成有皮膜的面的至少一部分進行攝像；及檢查部，基于由所述攝像部拍攝的圖像，檢查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述襯底在一方向上移動，一面檢查形成在所述襯底的皮膜的厚度不均，該膜厚不均檢查裝置包含：檢查條件登記部，對與檢查對象品種對應的檢查條件進行設定登記；及代表膜厚檢測部，檢測形成在所述襯底的皮膜的代表膜厚；所述光源部具備：反射照明部，配置在所述攝像部側，且對所述襯底照射光；及透射照明部，配置在隔著所述襯底而和所述攝像部對向的位置上，且對所述襯底照射光；在所述攝像部中，包含調節所述攝像部和所述襯底的相對角度的攝像角度調整部，在所述反射照明部中，包含調節所述反射照明部和所述襯底的相對角度的反射照明角度調整部，在所述透射照明部中，包含調節所述透射照明部和所述襯底的相對角度的透射照明角度調整部，該膜厚不均檢查裝置包括控制部，該控制部可基于登記在所述檢查條件登記部的檢查條件、與來自所述代表膜厚檢測部的代表膜厚信息，控制所述攝像部角度調整部、所述反射照明角度調整部、及所述透射照明角度調整部，調節所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。...

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：和田浩光，田嶋久容，小山恭史，濱川直良，水原正志，
申請(專利權)人：東麗工程株式會社，
類型：發明
國別省市：