一種拋光液添加裝置制造方法及圖紙

一種拋光液添加裝置，涉及拋光設備。提供一種能夠提高拋光液的利用效率，減少花費及提高拋光效果的拋光液添加裝置。包括工件夾具連接座、工件夾具、上端蓋、下端蓋、箱體和電子節流閥；夾具連接座外接拋光機轉軸，夾具連接座與工件夾具上端螺接，工件夾具內設有引流槽，引流槽進口露于工件夾具外表面，引流槽出口設有至少3個，各引流槽出口分布在工件夾具底表面；箱體套在工件夾具外部，上端蓋和下端蓋分別固于箱體的上端面和下端面，箱體壁上設有通液孔，電子節流閥設于箱體外壁上，電子節流閥出液口與箱體壁上的通液孔及引流槽連通，工件夾具通過軸承與箱體轉動配合。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及拋光設備，尤其是涉及一種拋光液添加裝置。
技術介紹
化學機械拋光技術(ChemicalMechanical Polishing,簡稱 CMP)是 1965 年由Monsanto提出來的,在磨盤和研磨料的作用下，先通過拋光衆料的化學作用使材料表面薄層軟化，隨后在磨料、磨盤及拋光布的機械作用下將其磨掉并帶走，從而實現平坦化。主要應用于超大規模集成電路(ULSI)制造中，已成為半導體加工行業實現硅片全局平面化的實用技術和核心技術([I]董偉.化學機械拋光技術研究現狀及進展[J].制造技術與機床，2012，(07) :93-97.)。CMP拋光加工過程中需要添加拋光液，目前的拋光液添加方法都是從拋光機旁邊引出兩根管道并置于拋光墊上方，一根用來添加蒸餾水，另一根用來添加拋光液。使用該方法，會導致拋光時拋光液無法均勻分布在工件的表面及其附近區域，影響工件的表面質量。由于在拋光過程中，工件夾具旋轉，一部分拋光液在得到利用之前會被夾具旋轉時所產生的離心力甩出去，造成了極大的浪費。相比較而言，如果采用從工件夾具周圍向工件表面噴射拋光液的方法，將大大提高拋光液的利用效率及拋光效果。
技術實現思路
本專利技術針對傳統拋光液添加方法造成拋光液極大浪費的問題，提供一種能夠提高拋光液的利用效率，減少花費及提高拋光效果的拋光液添加裝置。本專利技術包括工件夾具連接座、工件夾具、上端蓋、下端蓋、箱體和電子節流閥；夾具連接座外接拋光機轉軸，夾具連接座與工件夾具上端螺接，工件夾具內設有引流槽，引流槽進口露于工件夾具外表面，引流槽出口設有至少3個，各引流槽出口分布在工件夾具底表面；箱體套在工件夾具外部，上端蓋和下端蓋分別固于箱體的上端面和下端面，箱體壁上設有通液孔，電子節流閥設于箱體外壁上，電子節流閥出液口與箱體壁上的通液孔及引流槽連通，工件夾具通過軸承與箱體轉動配合。所述工件夾具與箱體內壁之間最好設有上端軸承和下端軸承，上端軸承與下端軸承之間設有套在工件夾具外壁上的定位套筒，定位套筒上端面與上端軸承之間設有上端密封層，定位套筒下端面與下端軸承之間設有下端密封層，定位套筒壁上設有通孔，該通孔與弓I流槽及箱體壁上的通液孔連通。所述引流槽最好其上部為T字形槽，下部為至少3條呈放射狀均布的分流槽。本專利技術的工作原理及有益效果如下加工時，拋光機轉軸經夾具連接座帶動工件夾具旋轉，拋光液通過電子節流閥從箱體上的孔注入，流經工件夾具內部的引流槽，從引流槽各出口噴射至被加工工件表面及其加工區域附近，通過調節電子節流閥，即可根據加工需要控制拋光液的添加速度，從而使得拋光液得到更加充分的利用。附圖說明圖1是本專利技術實施例的結構示意圖(半剖圖)。圖2是本專利技術實施例的使用示意圖。具體實施例方式參見圖1和2，本專利技術實施例設有工件夾具連接座1，上端蓋2，上端軸承3，上端密封層4，工件夾具5，下端蓋6，下端軸承7，下端密封層8，箱體9，電子節流閥10和套筒11。夾具連接座I外接拋光機轉軸，夾具連接座I與工件夾具5上端螺接，工件夾具5內設有引流槽，引流槽上部為T字形槽51，引流槽下部為放射狀均布的16條分流槽52。T字形槽51進口露于工件夾具5外表面，各分流槽出口分布在工件夾具5底表面。箱體9套在工件夾具5外部，上端蓋2和下端蓋6分別固于箱體9的上端面和下端面，箱體9壁上設有通液孔，電子節流閥10設于箱體9外壁上，電子節流閥10出液口與箱體9壁上的通液孔連通。工件夾具5與箱體9內壁之間設有上端軸承3和下端軸承7，上端軸承3與下端軸承7之間設有套在工件夾具5外壁上的定位套筒11，定位套筒11上端面與上端軸承3之間設有上端密封層4，定位套筒11下端面與下端軸承7之間設有下端密封層8。定位套筒11壁上設有與引流槽上部51連通的通孔，該通孔與箱體9壁上的通液孔相通。加工時，拋光機轉軸Pl帶動工件夾具5旋轉，拋光液通過電子節流閥10從箱體9上的通液孔注入，流經工件夾具5內部的引流槽51和52后噴射至設于拋光機工作臺P2上的被加工工件的表面以及加工區域附近，通過調節電子節流閥10，即可根據加工需要控制拋光液的添加速度，從而使得拋光液得到更加充分的利用。圖2中上部箭頭表示拋光機上的轉軸Pl旋轉方向，下部箭頭表示拋光機工作臺旋轉方向。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種拋光液添加裝置，其特征在于包括工件夾具連接座、工件夾具、上端蓋、下端蓋、箱體和電子節流閥；夾具連接座外接拋光機轉軸，夾具連接座與工件夾具上端螺接，工件夾具內設有引流槽，引流槽進口露于工件夾具外表面，引流槽出口設有至少3個，各引流槽出口分布在工件夾具底表面；箱體套在工件夾具外部，上端蓋和下端蓋分別固于箱體的上端面和下端面，箱體壁上設有通液孔，電子節流閥設于箱體外壁上，電子節流閥出液口與箱體壁上的通液孔及引流槽連通，工件夾具通過軸承與箱體轉動配合。

【技術特征摘要】
1.一種拋光液添加裝置，其特征在于包括工件夾具連接座、工件夾具、上端蓋、下端蓋、 箱體和電子節流閥；夾具連接座外接拋光機轉軸，夾具連接座與工件夾具上端螺接，工件夾具內設有引流槽，引流槽進口露于工件夾具外表面，引流槽出口設有至少3個，各引流槽出口分布在工件夾具底表面；箱體套在工件夾具外部，上端蓋和下端蓋分別固于箱體的上端面和下端面，箱體壁上設有通液孔，電子節流閥設于箱體外壁上，電子節流閥出液口與箱體壁上的通液孔及引流槽連通，工件夾具通過軸...

【專利技術屬性】
技術研發人員：郭隱彪，吳沿鵬，楊煒，梁愷，葉卉，
申請(專利權)人：廈門大學，
類型：發明
國別省市：