一種夾持機(jī)構(gòu)制造技術(shù)

一種夾持機(jī)構(gòu)，主要包括：一S形的簧片，簧片的底端為平面，簧片的中部連續(xù)形變形成第一彎曲部和第二彎曲部；該平面粘貼在直角棱鏡的參考面上，利用該第一彎曲部形變產(chǎn)生的彈力，并通過第二彎曲部將基片壓緊在參考面的表面。本發(fā)明專利技術(shù)提供的夾持機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡單，方便完成對基片的固定，而且便于基片的裝卸。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種夾持機(jī)構(gòu)，更具體地涉及一種激光匯聚原子沉積時(shí)固定基片的夾持機(jī)構(gòu)。
技術(shù)介紹
:激光匯聚原子沉積技術(shù)是一種納米制造技術(shù)，用于制造間距為λ /n的納米結(jié)構(gòu)陣列。其中λ是原子躍遷頻率V對應(yīng)的波長(λ = c/v, C為光速)。激光匯聚原子沉積技術(shù)所能制造的最簡單的納米結(jié)構(gòu)為間距為λ/2的納米條紋陣列。就是令一束準(zhǔn)直過的原子束垂直穿過一個(gè)激光駐波場。當(dāng)激光頻率大于原子躍遷頻率時(shí)，原子向駐波場的波節(jié)處匯聚。相反，當(dāng)激光頻率小于原子躍遷頻率時(shí)，原子向駐波場的波峰處匯聚。匯聚后的原子堆積在基片上，形成納米條紋陣列。進(jìn)行激光匯聚原子沉積時(shí)，基片表面必須與駐波場平行。為此，目前公知的結(jié)構(gòu)是如圖1所示；用一束基膜激光射向一平面反射鏡Α，當(dāng)入射光與反射光重合時(shí)，即形成激光駐波場B。該駐波場B與平面反射鏡A的表面垂直。基片C的表面與駐波場B的平行關(guān)系通過一個(gè)直角棱鏡D來實(shí)現(xiàn)。直角棱鏡D的一個(gè)直角面與平面反射鏡A粘合。則直角棱鏡D的另一個(gè)直角面與平面反射鏡A的表面垂直，同時(shí)與駐波場B平行。該直角棱鏡D的直角面作為安裝基片C的參考面，基片C貼合在直角棱鏡D的參考面上(如圖1所示)。準(zhǔn)之后的原子束E與駐波場B垂直。基片C的材料一般為硅、鈦藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦等。基片尺寸一般長為10mm、寬為3mm、厚為0.5mm，基片與直角棱鏡的貼合大都采用螺釘擰緊壓片或粘結(jié)劑粘合的方法相固定。如果采用螺釘擰緊壓片，則夾持結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜，裝配也不方便。此外，原子匯聚沉積實(shí)驗(yàn)要在超高真空環(huán)境中進(jìn)行，真空度需達(dá)到10_5Pa。夾持結(jié)構(gòu)復(fù)雜、使用螺釘都將增加抽真空的難度。如果使用粘結(jié)劑粘合基片和直角棱鏡，則粘結(jié)劑的強(qiáng)度不能太強(qiáng)，否則基片將難以被取下。而且每次安裝基片前都需要清潔參考面表面，裝配過程也不方便。相反，如果粘結(jié)劑強(qiáng)度不夠，又會(huì)導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)過程中基片松動(dòng)，位置發(fā)生變化。另外，使用粘結(jié)劑粘貼基片無法保證基片表面與參考面重合的重復(fù)性。這對納米制造來說是很大的不確定性。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于提供一種夾持機(jī)構(gòu)，以方便完成基片的裝卸和固定。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供的夾持機(jī)構(gòu)，為一呈S形的簧片，簧片的底端為平面，用于將簧片粘貼在直角棱鏡的參考面上。所述的夾持機(jī)構(gòu)，其中，簧片的頂端設(shè)有一孔，在裝卸基片時(shí)，可勾住此孔將簧片拉開。 所述的夾持機(jī)構(gòu)，其中，簧片由片狀的彈性材料制成。本專利技術(shù)提供的夾持機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡單，方便完成對基片的裝卸。附圖說明圖1是公知技術(shù)的示意圖。圖2是本專利技術(shù)的夾持機(jī)構(gòu)的組裝示意圖。圖3A和圖3B顯示了本專利技術(shù)的兩種呈S形的片狀簧片的形狀示意圖。具體實(shí)施例方式請參閱圖2和圖3A、B所示，本專利技術(shù)的簧片10呈一 S形，采用彈性材料制成，簧片10的底端為平面11，用于將簧片10粘貼在直角棱鏡D的參考面上，粘貼時(shí)可使用502膠或其它具有較高強(qiáng)度的粘結(jié)劑進(jìn)行粘合。簧片10上的中部連續(xù)形變形成第一彎曲部12和第二彎曲部13，利用該第一彎曲部12形變產(chǎn)生的彈力，并通過第二彎曲部13將基片D壓緊在直角棱鏡B構(gòu)成的參考面上，完成對基片C的固定。第一彎曲部12和第二彎曲部13可以是大弧度的彎曲面(如圖3A所示)，也可以是小弧度的彎曲面(如圖3B所示)。在簧片D的頂端設(shè)有一個(gè)孔14，在裝卸基片C時(shí)，可勾住此孔14將黃片10拉開。本專利技術(shù)的簧片10較佳的是使用具有彈性的片狀材料制成，所用的彈性材料既可以是金屬，也可以是非金屬。在激光匯聚原子沉積技術(shù)中，為了能夠穩(wěn)定地夾持基片，簧片的寬度一般不小于基片的寬度。本專利技術(shù)采用最簡單的結(jié)構(gòu)，可以很方便地完成對基片的固定和裝卸。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種夾持機(jī)構(gòu)，主要包括：一S形的簧片，簧片的底端為平面，簧片的中部連續(xù)形變形成第一彎曲部和第二彎曲部；該平面粘貼在直角棱鏡的參考面上，利用該第一彎曲部形變產(chǎn)生的彈力，并通過第二彎曲部將基片壓緊在參考面的表面。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種夾持機(jī)構(gòu)，王要包括: 一 S形的簧片，簧片的底端為平面，簧片的中部連續(xù)形變形成第一彎曲部和第二彎曲部; 該平面粘貼在直角棱鏡的參考面上，利用該第一彎曲部形變產(chǎn)生的彈力，并通過第二彎曲...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：殷聰，錢進(jìn)，石春英，劉秀英，劉忠有，張小平，王捍平，蔡山，
申請(專利權(quán))人：中國計(jì)量科學(xué)研究院，
類型：發(fā)明
國別省市：