等離子處理裝置(100)具備設(shè)置于真空容器(101)的內(nèi)部的放電室(1)、處理室(2)以及排氣室(3)。能夠載置晶片的樣品臺(tái)(4)配置于處理室(2)的內(nèi)部。在處理室(2)與放電室(1)之間設(shè)置有分散板(20)。在分散板(20)形成有多個(gè)...

本發(fā)明的目的在于，提供能除去自然氧化膜來(lái)高精度地進(jìn)行硅的蝕刻的技術(shù)。本發(fā)明的晶片處理方法之一是將在上表面形成有硅制的膜的半導(dǎo)體晶片配置于處理室內(nèi)來(lái)對(duì)所述硅制的膜進(jìn)行處理的晶片處理方法，具備如下工序：對(duì)形成于該硅制的膜的表面的氧化膜供給氫...

為了提供能夠降低由毛細(xì)管陣列的激發(fā)光照射部的周邊異物引起的噪聲信號(hào)的電泳裝置，電泳裝置具備：毛細(xì)管陣列，其平面狀地排列有用于試樣的電泳的毛細(xì)管；激發(fā)光源，其向所述毛細(xì)管陣列照射激發(fā)光；以及熒光測(cè)定部，其測(cè)定從所述毛細(xì)管陣列誘發(fā)的熒光，其...

本發(fā)明通過(guò)將在過(guò)濾器容器與彈性體之間進(jìn)行氣密封閉的部位和固定過(guò)濾器容器的部位分開，能夠保持過(guò)濾器容器與彈性體的氣密，并且以較小的力容易地安裝或拆卸過(guò)濾器容器。過(guò)濾裝置包括：漏斗10，其具有用于投入液體試樣的入口11和開口面積小于入口11...

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠通過(guò)適當(dāng)?shù)乜刂乒庠吹臏囟葋?lái)有效地使用光源的分析裝置。本發(fā)明的分析裝置包括：對(duì)光源殼體的內(nèi)部進(jìn)行調(diào)溫的殼體內(nèi)調(diào)溫機(jī)構(gòu)；支承安裝有發(fā)光元件的基板的基座；和對(duì)所述基座進(jìn)行調(diào)溫的基座調(diào)溫機(jī)構(gòu)，上述基座調(diào)溫機(jī)構(gòu)以上述基...

本公開的目的在于使帶電粒子源的探針電流長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定。在本公開的帶電粒子源中，發(fā)射器前端部具有：第一平坦面，其相對(duì)于光軸垂直；多個(gè)第二平坦面，其相對(duì)于所述光軸平行；以及多個(gè)第三平坦面，其配置于所述第一平坦面與所述第二平坦面之間。所述多個(gè)第二...

本公開在使用ECR的等離子處理裝置中，將包含ECR面的位置、形狀的參數(shù)的信息作為向等離子處理裝置的控制裝置的輸入值。能夠從等離子處理裝置的輸入裝置輸入到控制裝置的ECR面形狀的信息被另外確定的放電穩(wěn)定基準(zhǔn)限制。在滿足放電穩(wěn)定基準(zhǔn)的情況下...

容易確定警報(bào)的原因、應(yīng)對(duì)方法。該自動(dòng)分析系統(tǒng)具備：檢查處理部，其執(zhí)行用于檢查的處理的至少一部分；以及管理裝置，其管理所述檢查處理部。所述管理裝置具備：警報(bào)檢測(cè)部，其檢測(cè)發(fā)出了表示所述檢查處理部中產(chǎn)生異常的警報(bào)；警報(bào)通知部，其按照所述警報(bào)...

推定被檢檢體的凝血時(shí)間的延長(zhǎng)原因。凝血時(shí)間的延長(zhǎng)原因的推定方法取得表示混合被檢檢體和試劑的反應(yīng)液的凝固反應(yīng)所引起隨時(shí)間的光量的變化的凝固波形（S301b），通過(guò)對(duì)凝固波形的前后差分處理來(lái)取得第1波形（S302b），通過(guò)對(duì)凝固波形以及第1...

本公開為了實(shí)現(xiàn)使能夠透過(guò)離子引導(dǎo)器的離子的m/z范圍廣、構(gòu)造簡(jiǎn)單且耐污染的離子引導(dǎo)器，提案了一種離子引導(dǎo)器，其導(dǎo)入離子，使該離子會(huì)聚并射出，該離子引導(dǎo)器具有：多極電極，其用于形成多極電場(chǎng)；以及軸電場(chǎng)電極，其用于形成軸電場(chǎng)，多極電極或軸電...

提供防止被處理基板的外周附近處的等離子處理不良狀況的技術(shù)。提供如下特征的技術(shù)，具備：對(duì)被處理基板進(jìn)行等離子處理的處理室；經(jīng)由波導(dǎo)管供給微波電力的高頻電源；配置于處理室的上方且所述微波透過(guò)的電介質(zhì)板；載置被處理基板的樣品臺(tái)；配置成包圍處理...

本發(fā)明提供一種盡可能地減少收容于泳動(dòng)介質(zhì)容器的泳動(dòng)介質(zhì)的余量而高效地使用、進(jìn)一步降低運(yùn)行成本的計(jì)測(cè)系統(tǒng)及送液控制方法。作為一例，本發(fā)明提出一種計(jì)測(cè)系統(tǒng)具備電泳裝置和計(jì)算機(jī)，其中，電泳裝置具備：泳動(dòng)介質(zhì)容器，其收容泳動(dòng)介質(zhì)；毛細(xì)管，其在內(nèi)...

本發(fā)明提供一種盡可能地減少收容于泳動(dòng)介質(zhì)容器的泳動(dòng)介質(zhì)的余量而高效地使用、進(jìn)一步降低運(yùn)行成本的計(jì)測(cè)系統(tǒng)及送液控制方法。作為一例，本發(fā)明提出一種計(jì)測(cè)系統(tǒng)具備電泳裝置和計(jì)算機(jī)，其中，電泳裝置具備：泳動(dòng)介質(zhì)容器，其收容泳動(dòng)介質(zhì)；毛細(xì)管，其在內(nèi)...

各方面涉及提供一種能夠在低功率微波等離子體處理應(yīng)用中促進(jìn)均勻的蝕刻結(jié)果的等離子體處理技術(shù)。一種等離子體處理裝置包括：控制單元，被配置為使：微波電源輸出具有第一功率和第一占空比的第一微波脈沖，以在等離子體處理室中產(chǎn)生均勻分布的等離子體；微...

具備：保持檢體容器(102)的檢體盤(114)，檢體容器(102)在其外壁粘貼有用于存儲(chǔ)與收容的液體有關(guān)的信息的第一識(shí)別符(101)；保持區(qū)域(103A)，其位于檢體盤(114)內(nèi)，設(shè)置粘貼有第一識(shí)別符(101)的檢體容器(102)；區(qū)...

識(shí)別器生成裝置進(jìn)行識(shí)別器的更新、識(shí)別依據(jù)解析以及誤識(shí)別原因的分析，使用該分析結(jié)果來(lái)更新識(shí)別器，實(shí)現(xiàn)能夠高精度地識(shí)別圖像內(nèi)的物體的識(shí)別器的制作。識(shí)別器生成裝置取得對(duì)象圖像，使用識(shí)別器從對(duì)象圖像提取對(duì)象圖像的特征量，使用識(shí)別器從特征量識(shí)別對(duì)...

光檢測(cè)裝置具備：流路陣列，其排列成多個(gè)管的軸相互平行，構(gòu)成流路平面；照射光學(xué)系統(tǒng)，其具備光源，照射來(lái)自所述光源的光，以使得所述光的電場(chǎng)分量的振動(dòng)方向與所述流路平面平行，所述光的光軸含在所述流路平面中，且所述光軸在所述流路平面中相對(duì)于與所...

本發(fā)明的目的在于提供一種帶捆束部件的試劑容器以及使用該試劑容器的檢查裝置，其能夠一體地操作多個(gè)試劑容器，并且不與試劑容器直接接觸就能夠防止試劑污染。帶捆束部件的試劑容器(1)具備：多個(gè)試劑容器(11)，其以串聯(lián)且相接的方式配置；以及能夠...

不適合檢測(cè)部(10)具有：圖像變換部(12)，其使用學(xué)習(xí)模型(14)從輸入的低品質(zhì)圖像(11)變換為高品質(zhì)等效圖像(13)；不適合檢測(cè)部(15)，其檢測(cè)輸入的低品質(zhì)圖像(11)與學(xué)習(xí)模型(14)是否不適合；不適合報(bào)告部(16)，其報(bào)告檢...

為了識(shí)別來(lái)自多個(gè)發(fā)光點(diǎn)的多種熒光體的發(fā)光，在分別在多個(gè)波段對(duì)來(lái)自各發(fā)光點(diǎn)的熒光進(jìn)行檢測(cè)的分析方法以及分析裝置中，在多個(gè)發(fā)光點(diǎn)以及多個(gè)波段的信號(hào)強(qiáng)度之間存在空間串?dāng)_以及光譜串?dāng)_，上述識(shí)別的性能降低。通過(guò)向預(yù)先確定的運(yùn)算式輸入多個(gè)發(fā)光點(diǎn)各自...