一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，包括底座、設(shè)置在所述底座上的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件上下設(shè)置，所述底座環(huán)繞所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)和左右旋絲杠組件，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件。本實(shí)用新型專利技術(shù)采用一套同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)兩片光學(xué)元件的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)同步性好，且結(jié)構(gòu)和控制簡(jiǎn)單，對(duì)零件的加工精度和裝配精度要求較低，成本低。

Mechanical device for realizing synchronous opposite movement

The utility model discloses a mechanical device to realize synchronization of motion, which comprises a base, provided at the base of the synchronous motion output mechanism, a first optical element and the second optical element positioned on the base, surrounded by the first optical element and the second optical element of the first set. The optical element and the second optical element are respectively connected with the synchronization of the motion output mechanism, the synchronization of the motion output mechanism comprises a motor and a rotary screw around components connected to each other, the first optical element and the second optical element are respectively connected with the left and right rotation screw assembly. The utility model adopts a set of synchronization to realize motion output mechanism of two pieces of optical element to the synchronization of the motion, motion synchronization, and simple structure and control, the machining precision and assembly precision low, low cost.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置
本技術(shù)涉及一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置。
技術(shù)介紹
隨著對(duì)光刻機(jī)前道照明系統(tǒng)的積分均勻性要求越來(lái)越高，而且當(dāng)照明模式、相干因子等改變時(shí)，前道照明系統(tǒng)的積分均勻性會(huì)發(fā)生一定的變化，為了保證所有照明模式的積分均勻性都滿足前道照明系統(tǒng)需要，要增加積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)來(lái)補(bǔ)償積分均勻性。在常見(jiàn)的積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)中，采用兩片透過(guò)率不同的光學(xué)元件的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)來(lái)補(bǔ)償積分均勻性的積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)較為常見(jiàn)。因此，上述積分均勻性補(bǔ)償系統(tǒng)中的兩片光學(xué)元件對(duì)向運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)精度、運(yùn)動(dòng)分辨率、運(yùn)動(dòng)可靠性及同步性誤差均影響著積分均勻性的補(bǔ)償效果。請(qǐng)參見(jiàn)圖1，目前普遍使用的一種同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括兩套導(dǎo)向桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1，依靠?jī)商姿鰧?dǎo)向桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1實(shí)現(xiàn)兩個(gè)光學(xué)元件2的對(duì)向運(yùn)動(dòng)，一套所述導(dǎo)向桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1控制一片光學(xué)元件2，通過(guò)分別控制兩套所述導(dǎo)向桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1來(lái)實(shí)現(xiàn)兩片光學(xué)元件2的同步運(yùn)動(dòng)，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和控制方法均較為復(fù)雜，生產(chǎn)及使用的成本高，且由于采用兩套導(dǎo)向桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1，輸出的對(duì)向運(yùn)動(dòng)的同步性誤差較大，為了保證所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)精度和輸出的對(duì)向運(yùn)動(dòng)的同步性，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)中各零件的加工精度及各組件的裝配精度要求都較高，進(jìn)一步增加了生產(chǎn)成本。因此，如何提供一種能夠改善傳統(tǒng)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)生產(chǎn)成本高且輸出的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)同步性誤差大的可實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)提供了一種可實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，用以解決傳統(tǒng)的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)生產(chǎn)成本高、運(yùn)動(dòng)精度低，且輸出的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)同步性誤差大的問(wèn)題。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本技術(shù)的技術(shù)方案是：一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，包括底座、設(shè)置在所述底座上的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件上下設(shè)置，所述底座環(huán)繞所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)和左右旋絲杠組件，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件。作為優(yōu)選，所述第一光學(xué)元件設(shè)置在第一固定板上，通過(guò)第一固定板連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選，所述第二光學(xué)元件設(shè)置在第二固定板上，通過(guò)第二固定板連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選，所述左右旋絲杠通過(guò)設(shè)置在所述底座上的聯(lián)軸器連接所述電機(jī)。作為優(yōu)選，所述左右旋絲杠包括絲桿以及設(shè)置在所述絲桿上的左旋螺母和右旋螺母，所述絲杠上設(shè)有左旋螺紋和右旋螺紋，所述第一光學(xué)元件連接所述左旋螺母，所述左旋螺母與所述左旋螺紋匹配連接，所述第二光學(xué)元件連接所述右旋螺母，所述右旋螺母與所述右旋螺紋匹配連接。作為優(yōu)選，所述第一光學(xué)元件與所述左旋螺母之間通過(guò)左連接機(jī)構(gòu)連接，所述左連接機(jī)構(gòu)包括左連接導(dǎo)軌和左連接支架，所述左連接導(dǎo)軌平行所述絲桿設(shè)置在所述底座上，所述左連接支架設(shè)置在所述左連接導(dǎo)軌的滑塊上，且所述左連接支架一端連接所述左旋螺母，另一端連接所述第一光學(xué)元件；所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母之間通過(guò)右連接機(jī)構(gòu)連接，所述右連接機(jī)構(gòu)包括右連接導(dǎo)軌和右連接支架，所述右連接導(dǎo)軌平行所述絲桿設(shè)置在所述底座上，所述右連接支架設(shè)置在所述右連接導(dǎo)軌的滑塊上，且所述右連接支架一端連接所述右旋螺母，另一端連接所述第二光學(xué)元件。作為優(yōu)選，所述實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置還包括多個(gè)第一支撐機(jī)構(gòu)和多個(gè)第二支撐機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)第一支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述底座上并連接所述第一光學(xué)元件，所述多個(gè)第二支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述底座上并連接所述第二光學(xué)元件。作為優(yōu)選，所述第一支撐機(jī)構(gòu)包括第一支撐導(dǎo)軌和第一支撐支架，所述第一支撐導(dǎo)軌平行所述左右旋絲杠組件設(shè)置，所述第一支撐支架設(shè)置在所述第一支撐導(dǎo)軌的滑塊上并連接所述第一光學(xué)元件；所述第二支撐機(jī)構(gòu)包括第二支撐導(dǎo)軌和第二支撐支架，所述第二支撐導(dǎo)軌平行所述左右旋絲杠組件設(shè)置，所述第二支撐支架設(shè)置在所述第二支撐導(dǎo)軌的滑塊上并連接所述第二光學(xué)元件。作為優(yōu)選，所述第一光學(xué)元件與所述左旋螺母之間通過(guò)左連接支架連接，所述左連接支架連接多個(gè)所述第一支撐支架中與其位置相對(duì)應(yīng)的第一支撐支架；所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母之間通過(guò)右連接支架連接，所述右連接支架連接多個(gè)所述第二支撐支架中與其位置相對(duì)應(yīng)的第二支撐支架。作為優(yōu)選，所述多個(gè)第一支撐機(jī)構(gòu)的數(shù)量?jī)?yōu)選四個(gè)，均勻分布在所述第一光學(xué)元件兩側(cè)；所述多個(gè)第二支撐機(jī)構(gòu)的數(shù)量?jī)?yōu)選四個(gè)，均勻分布在所述第二光學(xué)元件兩側(cè)。作為優(yōu)選，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)還包括第一絲杠支撐座和第二絲杠支撐座，所述第一絲杠支撐座和第二絲杠支撐座固定在所述底座上，所述絲杠一端連接所述第一絲杠支撐座，另一端穿過(guò)所述第二絲杠支撐座后與所述電機(jī)連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：本技術(shù)采用一套同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)兩片光學(xué)元件的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)同步性好，且結(jié)構(gòu)和控制簡(jiǎn)單，對(duì)零件的加工精度和裝配精度要求較低，成本低。附圖說(shuō)明圖1是現(xiàn)有技術(shù)中一同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)一具體實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本技術(shù)一具體實(shí)施例的左右旋絲杠的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本技術(shù)一具體實(shí)施例的左右旋絲杠和第一光學(xué)元件及第二光學(xué)元件之間的裝配示意圖。圖1中所示：1-導(dǎo)向桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、2-光學(xué)元件；圖2～4中所示：10-底座、21-電機(jī)、22-左右旋絲杠組件、221-絲桿、222-左旋螺母、223-右旋螺母、23-聯(lián)軸器、241-第一絲杠支撐座、242-第二絲杠支撐座、31-第一光學(xué)元件、311-第一固定板、411-左連接導(dǎo)軌、412-左連接支架、421-右連接導(dǎo)軌、422-右連接支架、431-第一支撐導(dǎo)軌、432-第一支撐支架、441-第二支撐導(dǎo)軌。具體實(shí)施方式為使本技術(shù)的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，本技術(shù)附圖均采用簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本技術(shù)實(shí)施例的目的。請(qǐng)參見(jiàn)圖2和圖4，一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，包括底座10、設(shè)置在所述底座10上的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件31和第二光學(xué)元件(圖中未示出)上下設(shè)置，所述底座10環(huán)繞所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)。所述第一光學(xué)元件31設(shè)置在第一固定板311上，通過(guò)所述第一固定板311連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)；所述第二光學(xué)元件設(shè)置在第二固定板(圖中未示出)上，通過(guò)所述第二固定板連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)。所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)21和左右旋絲杠組件22，所述左右旋絲杠組件22通過(guò)聯(lián)軸器23連接所述電機(jī)21，所述第一光學(xué)元件31和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件22。請(qǐng)參見(jiàn)圖3，所述左右旋絲杠組件22包括絲桿221以及設(shè)置在所述絲桿221上的左旋螺母222和右旋螺母223，所述絲桿221上設(shè)有左旋螺紋和右旋螺紋，所述第一光學(xué)元件31連接所述左旋螺母222，所述左旋螺母222與所述左旋螺紋匹配連接，所述第二光學(xué)元件連接所述右旋本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，包括底座、設(shè)置在所述底座上的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件上下設(shè)置，所述底座環(huán)繞所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)和左右旋絲杠組件，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，包括底座、設(shè)置在所述底座上的同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件上下設(shè)置，所述底座環(huán)繞所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件設(shè)置，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)，所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)包括相互連接的電機(jī)和左右旋絲杠組件，所述第一光學(xué)元件和所述第二光學(xué)元件分別連接所述左右旋絲杠組件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，所述第一光學(xué)元件設(shè)置在第一固定板上，通過(guò)第一固定板連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，所述第二光學(xué)元件設(shè)置在第二固定板上，通過(guò)第二固定板連接所述同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)輸出機(jī)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，所述左右旋絲杠組件通過(guò)聯(lián)軸器連接所述電機(jī)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，所述左右旋絲杠組件包括絲桿以及設(shè)置在所述絲桿上的左旋螺母和右旋螺母，所述絲杠上設(shè)有左旋螺紋和右旋螺紋，所述第一光學(xué)元件連接所述左旋螺母，所述左旋螺母與所述左旋螺紋匹配連接，所述第二光學(xué)元件連接所述右旋螺母，所述右旋螺母與所述右旋螺紋匹配連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的實(shí)現(xiàn)同步對(duì)向運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置，其特征在于，所述第一光學(xué)元件與所述左旋螺母之間通過(guò)左連接機(jī)構(gòu)連接，所述左連接機(jī)構(gòu)包括左連接導(dǎo)軌和左連接支架，所述左連接導(dǎo)軌平行所述絲桿設(shè)置在所述底座上，所述左連接支架設(shè)置在所述左連接導(dǎo)軌的滑塊上，且所述左連接支架一端連接所述左旋螺母，另一端連接所述第一光學(xué)元件；所述第二光學(xué)元件與所述右旋螺母之間通過(guò)右連接機(jī)構(gòu)連接，所述右連接機(jī)構(gòu)包括右連接導(dǎo)軌和右連接支架，所述右連接導(dǎo)軌平行所述絲桿設(shè)置在所述底座上，所...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李靜，趙峰，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海微電子裝備有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：上海,31