一種搬運裝置，其將帶狀的工件搬運至沿鉛直方向設置的處理臺，并且該搬運裝置以上述處理臺為界配置于一側，其特征在于，所述搬運裝置包括： 供給卷筒，其送出所卷繞的上述工件和與該工件對置地卷繞的保護片； 卷繞卷筒，其設于上述供給卷筒的下方，卷繞從上述供給卷筒送出的上述工件； 工件搬運單元，其將上述工件從上述供給卷筒經由上述處理臺搬運至上述卷繞卷筒；以及 保護片搬運單元，其以上述供給卷筒為基點向與上述處理臺不同的方向迂回，將上述保護片從上述供給卷筒搬運至上述卷繞卷筒。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種搭載電子部件的帶狀的搬運裝置，特別是涉及從對置地卷繞有帶和保護片的卷筒，將帶與保護片分離后進行搬運的搬運裝置。
技術介紹
近年來，搭載電子部件的基板變得薄層化，伴隨著使用范圍的擴大，該尺寸也多樣化，厚度為12.5μm至50μm，寬度自35mm至250mm。這樣的基板從處理容易性以及高生產性出發，形成為長而且是薄膜狀的帶。該帶由于是長尺寸形狀，因此在曝光、清洗、蝕刻、檢查、以及組裝等的各處理工序間，雖然是在卷繞于卷筒的狀態下進行處理，但在各處理工序中會在帶的表面涂布抗蝕劑或電路用金屬薄膜，或者安裝電子部件。因此，在卷繞于卷筒的帶之間，安裝有與帶大致相同形狀的保護片，以防止帶的表面附著異物，和防止安裝于帶的電子部件的導線變形、損傷等。另一方面，各處理工序中的處理對象僅僅是帶，保護片是不必要的。因此，在將帶搬運至各處理工序的搬運裝置中，從卷繞有帶與保護片的供給卷筒，將帶與保護片分離后送出，僅將帶搬運至處理工序。然后，在將處理完畢的帶卷繞到卷繞卷筒上時，再次使保護片夾裝于帶之間。圖5為第一現有技術的搬運裝置的示意圖。作為第一現有技術，如圖5所示，有搬運裝置100，其包括供給卷筒101，其以在卷繞的帶T1之間夾裝有保護片S1的狀態，卷繞有帶T1與保護片S1；卷繞從該供給卷筒101送出的帶T1的卷繞卷筒102；將從供給卷筒101送出的保護片S1與帶T1分離、并卷繞該保護片S1的卷繞卷筒103；卷繞有保護片S2的供給卷筒104，該保護片S2用于夾裝在卷繞于卷繞卷筒102的帶T1之間；以及設于作為帶T1的搬運系統的供給卷筒101與卷繞卷筒102之間的處理部105(例如專利文獻1～3)。在該搬運裝置100中，通過將帶T1與保護片S1分離后進行搬運，能夠在處理部105中僅處理帶T1。在搬運裝置100中，在從供給卷筒101將保護片S1卷繞到卷繞卷筒103上時，要調整其張力。具體而言，(1)在專利文獻1中，在供給卷筒101與保護片用的卷繞卷筒103之間設有壓送滾子；(2)在專利文獻2中，將電動機經由離合器連結于保護片用的卷繞卷筒103的驅動軸上。另外，為了調節在卷繞卷筒103側卷繞的保護片S2的張力，(3)在專利文獻3中，通過對保護片S2使用由彈簧產生的彈力，來將張力施加在帶T1上。圖6為第二現有技術的搬運裝置的示意圖。作為第二現有技術，如圖6所示，有裝置200，其包括卷繞有帶T1與保護片S1的供給卷筒201；卷繞從該供給卷筒201送出的帶T1與保護片S1的卷繞卷筒202；從供給卷筒201至卷繞卷筒202的帶T1的搬運系統203；從供給卷筒201至卷繞卷筒202的保護片S1的搬運系統204；以及設于搬運系統203的檢查裝置205(例如，參照專利文獻4)。在該裝置200中，從供給卷筒送出的帶T1與保護片S1由各自的搬運系統203、204分別搬運，從而在檢查裝置205中能夠僅檢查帶T1。特許第3663421號公報特開2004-193259號公報特開2005-93958號公報特開2005-5586號公報但是在第一現有技術中，如圖5所示，需要用于卷繞從供給卷筒101送出的保護片S1的專門的卷繞卷筒103，并且作為卷繞在該卷繞卷筒103上的保護片S1的張力調整裝置，還需要壓送滾子、離合器以及彈簧等，存在附帶設備變多的問題。當在卷繞處理后的帶T1時，為了在帶T1之間夾裝保護片S2，需要另外進行在卷繞卷筒102的附近設置保護片用的供給卷筒104的作業，因此存在作業效率差的問題。另一方面，在第二現有技術中，如圖6所示，由于從供給卷筒201送出的保護片S1直接卷繞在卷繞卷筒202上，因而不需要附帶設備(圖5中的卷繞卷筒103等)。但是，由于供給卷筒201、檢查裝置205、卷繞卷筒202在水平方向上并列，因而會有裝置大型化、且需要有大的設置空間的問題。并且，在裝置200中，由于在檢查裝置205的上方配置有搬運系統204，因而存在附著于保護片S1的灰塵會飛散至檢查裝置205的作業區域的問題。而且，在裝置200的搬運系統203中，在供給卷筒201與檢查裝置205之間，在檢查裝置205與卷繞卷筒202之間等，使帶T1松弛以調整其張力，另一方面在搬運系統204中，由于僅在卷繞卷筒202的近前調整保護片S1的張力，因此難以使帶T1的移動與保護片S1的移動同步。因此具有卷繞卷筒202上的帶T1與保護片S1的卷繞的平衡會惡化的問題。
技術實現思路
因此，本專利技術的課題在于提供一種搬運裝置，其解決上述問題，不設置附帶設備且使裝置比現有技術更小型，并且，防止了灰塵飛散到處理臺的作業區域中。另外，提供一種能夠以良好的平衡來卷繞帶與保護片的搬運裝置。為了解決該等問題，第一觀點的搬運裝置，將帶狀的工件搬運至沿鉛直方向設置的處理臺，并且該搬運裝置以處理臺為界配置于一側，所述搬運裝置包括供給卷筒，其送出所卷繞的工件和與該工件對置地卷繞的保護片；卷繞卷筒，其設于供給卷筒的下方，卷繞從供給卷筒送出的工件；工件搬運單元，其將工件從供給卷筒經由處理臺搬運至卷繞卷筒；以及保護片搬運單元，其以供給卷筒為基點向與處理臺不同的方向迂回，將保護片從供給卷筒搬運至卷繞卷筒。根據這樣的結構，從供給卷筒送出的工件通過工件搬運單元由處理臺對表面進行處理，并同時被搬運至卷繞卷筒。并且，從供給卷筒送出的保護片通過保護片搬運單元被搬運至卷繞卷筒。即，從供給卷筒送出的工件和保護片通過各自的搬運單元搬運后，以再次合在一起的狀態卷繞在卷繞卷筒上。因此，可不需要用于卷繞保護片的專門的卷筒。并且，由于在供給卷筒的下方設置卷繞卷筒，因此與現有技術相比，工件搬運系統在水平方向上的長度變短，從而能夠使裝置小型化。而且，保護片搬運單元由于設置成從供給卷筒至卷繞卷筒向與處理臺不同的方向迂回，因此即使在灰塵附著于保護片的情況下，也能夠防止灰塵飛散到處理臺的作業區域中。第二觀點的搬運裝置中，保護片搬運單元具有保護片張力調整單元，該保護片張力調整單元由以下部分構成引導從供給卷筒送出的保護片的第一滾子；將保護片導向卷繞卷筒的第二滾子；以及調整第一滾子與第二滾子之間的保護片的張力的第一充氣容器。根據這樣的結構，通過保護片張力調整單元來調整帶的張力，從而能夠在穩定的張力下搬運保護片。第三觀點的搬運裝置中，從供給卷筒經由處理臺搬運至卷繞卷筒的工件、和從供給卷筒搬運至卷繞卷筒的保護片，經由供給卷筒和卷繞卷筒構成閉環。根據這樣的結構，可以不需要用于卷繞保護片的專門的卷筒。在第四觀點中，所述搬運裝置還包括第一檢測器，其檢測從處理臺向卷繞卷筒搬運的工件在寬度方向上的位置；以及第二檢測器，其檢測從供給卷筒向卷繞卷筒搬運的保護片在寬度方向上的位置，根據第一檢測器與第二檢測器的結果，使卷繞到卷繞卷筒的工件與保護片在寬度方向上一致。根據這樣的結構，能夠在使帶T的寬度方向與保護片S的寬度方向正確地對齊的狀態下，將兩者卷繞到卷繞卷筒上。在第五觀點中，工件搬運單元包括第一張力調整單元，其設于供給卷筒與處理臺之間，用于調整供給至處理部的工件的張力；以及第二張力調整單元，其設于處理臺與卷繞卷筒之間，用于調整卷繞到卷繞卷筒的工件的張力，第一張力調整單元具有引導從供給卷筒送出的帶的第三滾子；向處理臺側引導帶的第四滾子；以及調整第三滾子與第四本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種搬運裝置，其將帶狀的工件搬運至沿鉛直方向設置的處理臺，并且該搬運裝置以上述處理臺為界配置于一側，其特征在于，所述搬運裝置包括：供給卷筒，其送出所卷繞的上述工件和與該工件對置地卷繞的保護片；卷繞卷筒，其設于上述供給卷筒的下方，卷繞從上述供給卷筒送出的上述工件；工件搬運單元，其將上述工件從上述供給卷筒經由上述處理臺搬運至上述卷繞卷筒；以及保護片搬運單元，其以上述供給卷筒為基點向與上述處理臺不同的方向迂回，將上述保護片從上述供給卷筒搬運至上述卷繞卷筒。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：佐藤仁，
申請(專利權)人：株式會社ORC制作所，
類型：發明
國別省市：JP
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