【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及硅片生產，具體為一種傳輸硅片的機械裝置。
技術介紹
1、目前在半導體行業中，因為硅片很昂貴，且在工藝制造中對硅片表面機械顆粒要求也非常高，所以取送硅片時不僅需要取送裝置具有很高的穩定性，而且還要求具有很高的潔凈度。由于生產中，需要將硅片在各個工藝設備之間高速、精確、潔凈且絕對安全的反復傳送，因此需要高傳送效率、高穩定性的傳送裝置來完成。
2、其中公開(公告)號：cn109192687b，公開了一種傳輸硅片的機械裝置，其包括x軸驅動機構、z軸驅動機構、z軸旋轉驅動機構、兩套獨立的y軸驅動機構、第一手叉、第二手叉以及校正裝置，其中x軸驅動機構上安裝有z軸驅動機構，z軸驅動機構上安裝有z軸旋轉驅動機構，z軸旋轉驅動機構上安裝有兩套獨立的y軸驅動機構，兩套獨立的y軸驅動機構，分別用于驅動第一手叉和第二手叉做水平伸縮運動，校正裝置安裝在z軸驅動機構的殼體上。
3、在上述的方案中提出了傳輸硅片裝置，且通過x軸方向的距離輸送，但是如果傳輸路線較長，則x軸方向的傳輸效率不高，導致生產效率降低；而且，有時硅片加工的傳輸的路線需要改變，則會導致硅片的傳輸位置發生改變，上述的方案不能夠隨意的調整硅片傳輸的路線；另外，由于生產環境的污染會導致硅片的表面附著有雜質或者灰塵，如果直接進行傳輸加工，則會導致硅片的加工質量降低，從而影響后期對硅片的使用效果。為此，提出一種傳輸硅片的機械裝置。
技術實現思路
1、（一）解決的技術問題
2、針對現有技術的不足，本專利技
3、（二）技術方案
4、為實現上述的目的，本專利技術提供如下技術方案：一種傳輸硅片的機械裝置，包括底箱、傳輸架和傳輸帶，所述傳輸架位于底箱的上方，所述底箱的內部轉動設有向上引出的伸縮旋轉柱，所述伸縮旋轉柱的上端與傳輸架的底部固定連接，所述底箱的內部設有與伸縮旋轉柱連接的旋轉驅動機構；所述傳輸帶傳動設置于傳輸架的內部，所述傳輸架的一側固定設有吹風箱，且傳輸架的另一側固定設有吸風箱，所述傳輸架的頂部兩側均固定設有第一安裝座，兩個所述第一安裝座的側壁均固定設有第一氣缸，兩個所述第一氣缸的活塞桿末端分別固定設有吹風板和吸風板，所述吹風板和吸風板均通過風管分別與吹風箱和吸風箱連接；所述傳輸架的尾部上端固定設有第二安裝座，所述第二安裝座的側壁固定設有第二氣缸，所述第二氣缸的活塞桿末端固定設有推料板，所述傳輸架的一側且與推料板的位置對應處設有缺口，且缺口處固定設有放料板。
5、優選的，所述旋轉驅動機構包括第三氣缸、齒條和齒輪，所述伸縮旋轉柱的下端固定設有轉軸，且轉軸的下端與底箱的底部內壁轉動連接，所述齒輪固定設置于轉軸的軸壁上，所述第三氣缸固定設置于底箱的內側壁上，所述第三氣缸的活塞桿末端與齒條固定連接，所述齒條與齒輪嚙合設置。
6、優選的，所述底箱的內側壁固定設有控制器，所述第一氣缸、第二氣缸和第三氣缸均與控制器電性連接。
7、優選的，所述吹風箱的底部固定設有進風扇，所述吸風箱的底部固定設有出風扇，所述吸風箱的內部傾斜固定設有過濾網，所述過濾網的底部固定安裝有震動電機，所述吸風箱的側壁且位于過濾網朝下傾斜的一側設有取渣口，且取渣口的內部螺紋設有蓋頭。
8、優選的，所述風管的一端延伸至吸風箱的內部并固定設有布氣管，所述布氣管的管壁開設有多個均勻分布的布氣孔，所述布氣管位于過濾網的上方。
9、優選的，所述伸縮旋轉柱包括下柱和上柱，所述下柱與上柱插接配合，所述下柱的下端與轉軸固定連接，所述上柱的上端與傳輸架固定連接，所述下柱與上柱的連接處設有相互配合的螺栓和螺母。
10、優選的，所述下柱的柱壁固定設有角度指針，所述底箱的頂部固定嵌設有角度刻度盤，所述角度指針與角度刻度盤位置對應設置。
11、優選的，所述放料板的表面開設有安裝槽，所述安裝槽的內部固定安裝有紅外線傳感器，且安裝槽的開口固定設有將紅外線傳感器擋住的透明玻璃罩，所述紅外線傳感器與控制器電性連接。
12、優選的，所述底箱的兩側均固定設有安裝環，且底箱通過安裝環固定安裝于地面或者設備主體上。
13、（三）有益效果
14、與現有技術相比，本專利技術提供了一種傳輸硅片的機械裝置，具備以下有益效果：
15、1、該傳輸硅片的機械裝置，通過設有的傳輸架和傳輸帶，傳輸帶在傳輸架內部旋轉時，能夠將硅片進行遠距離的快速輸送，同時通過設置在底箱內部的旋轉驅動機構，旋轉驅動機構可帶動伸縮旋轉柱轉動，使得傳輸架和傳輸帶進行角度旋轉，從而能夠將傳輸帶表面的硅片進行多方位的輸送，使得硅片可傳輸至不同方位的加工工位，提高了輸送的效率。
16、2、該傳輸硅片的機械裝置，通過設置在傳輸架上的吹風箱、吸風箱、第一氣缸、吹風板和吸風板，硅片在傳輸帶表面傳輸的過程中，使得硅片經過兩側的吹風板和吸風板，吹風箱的內部可向吹風板的內部吹入氣體，使得使得氣體吹向硅片的表面，從而能夠將硅片表面的雜質或者灰塵吹氣，同時吸風箱可使得吸風板的產生負壓，使得吹氣的氣體吸入至吸風箱的內部。
17、3、該傳輸硅片的機械裝置，通過設有的第二氣缸、推料板和放料板，硅片輸送至傳輸帶的末端時，通過第二氣缸伸出，第二氣缸伸出帶動推料板移動，使得硅片移動至放置板的表面用于機械抓取加工。
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1.一種傳輸硅片的機械裝置，包括底箱（1）、傳輸架（2）和傳輸帶（3），其特征在于：所述傳輸架（2）位于底箱（1）的上方，所述底箱（1）的內部轉動設有向上引出的伸縮旋轉柱（4），所述伸縮旋轉柱（4）的上端與傳輸架（2）的底部固定連接，所述底箱（1）的內部設有與伸縮旋轉柱（4）連接的旋轉驅動機構；
2.根據權利要求1所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述旋轉驅動機構包括第三氣缸（15）、齒條（16）和齒輪（17），所述伸縮旋轉柱（4）的下端固定設有轉軸（18），且轉軸（18）的下端與底箱（1）的底部內壁轉動連接，所述齒輪（17）固定設置于轉軸（18）的軸壁上，所述第三氣缸（15）固定設置于底箱（1）的內側壁上，所述第三氣缸（15）的活塞桿末端與齒條（16）固定連接，所述齒條（16）與齒輪（17）嚙合設置。
3.根據權利要求2所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述底箱（1）的內側壁固定設有控制器（19），所述第一氣缸（8）、第二氣缸（12）和第三氣缸（15）均與控制器（19）電性連接。
4.根據權利要求1所述的一種傳輸硅片的機械裝置
5.根據權利要求４所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述風管的一端延伸至吸風箱（6）的內部并固定設有布氣管（25），所述布氣管（25）的管壁開設有多個均勻分布的布氣孔（26），所述布氣管（25）位于過濾網（22）的上方。
6.根據權利要求1所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述伸縮旋轉柱（4）包括下柱（27）和上柱（28），所述下柱（27）與上柱（28）插接配合，所述下柱（27）的下端與轉軸（18）固定連接，所述上柱（28）的上端與傳輸架（2）固定連接，所述下柱（27）與上柱（28）的連接處設有相互配合的螺栓（29）和螺母（30）。
7.根據權利要求6所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述下柱（27）的柱壁固定設有角度指針（31），所述底箱（1）的頂部固定嵌設有角度刻度盤（32），所述角度指針（31）與角度刻度盤（32）位置對應設置。
8.根據權利要求3所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述放料板（14）的表面開設有安裝槽（33），所述安裝槽（33）的內部固定安裝有紅外線傳感器（34），且安裝槽（33）的開口固定設有將紅外線傳感器（34）擋住的透明玻璃罩（35），所述紅外線傳感器（34）與控制器（19）電性連接。
9.根據權利要求1所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述底箱（1）的兩側均固定設有安裝環（36），且底箱（1）通過安裝環（36）固定安裝于地面或者設備主體上。
...【技術特征摘要】
1.一種傳輸硅片的機械裝置，包括底箱（1）、傳輸架（2）和傳輸帶（3），其特征在于：所述傳輸架（2）位于底箱（1）的上方，所述底箱（1）的內部轉動設有向上引出的伸縮旋轉柱（4），所述伸縮旋轉柱（4）的上端與傳輸架（2）的底部固定連接，所述底箱（1）的內部設有與伸縮旋轉柱（4）連接的旋轉驅動機構；
2.根據權利要求1所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述旋轉驅動機構包括第三氣缸（15）、齒條（16）和齒輪（17），所述伸縮旋轉柱（4）的下端固定設有轉軸（18），且轉軸（18）的下端與底箱（1）的底部內壁轉動連接，所述齒輪（17）固定設置于轉軸（18）的軸壁上，所述第三氣缸（15）固定設置于底箱（1）的內側壁上，所述第三氣缸（15）的活塞桿末端與齒條（16）固定連接，所述齒條（16）與齒輪（17）嚙合設置。
3.根據權利要求2所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述底箱（1）的內側壁固定設有控制器（19），所述第一氣缸（8）、第二氣缸（12）和第三氣缸（15）均與控制器（19）電性連接。
4.根據權利要求1所述的一種傳輸硅片的機械裝置，其特征在于：所述吹風箱（5）的底部固定設有進風扇（20），所述吸風箱（6）的底部固定設有出風扇（21），所述吸風箱（6）的內部傾斜固定設有過濾網（22），所述過濾網（22）的底部固定安裝有震動電機（23），所述吸風箱（6）的側壁且位于過濾網（22）朝下傾斜的一側設有取渣口，且取渣口的內部螺紋設有蓋頭（...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李贊，張敏，
申請(專利權)人：深圳摩天智能裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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