本實用新型專利技術公開了一種低溫泵與冷阱的穩壓供液裝置，包括冷阱、低溫泵和儲液罐，冷阱和低溫泵通過管道與儲液罐連接，儲液罐的下端的位置高于冷阱和低溫泵上端位置，儲液罐的上端設有出氣閥，冷阱和低溫泵的一端與儲液罐的下端連通，另一端與儲液罐的上端連通，儲液罐上還設有自動補液裝置，儲液罐通過位差來給冷阱和低溫泵提供穩定的液氮，自動補液裝置能為儲液罐自動補給液氮，因此，本實用新型專利技術具有通過位差來為冷阱和低溫泵設備提供穩定的供液從而保證設備正常的工作環境的有益效果，同時還具有當儲液罐中液氮含量不足時能夠自動為儲液罐補給液氮的有益效果。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及ー種航天領域低溫超高真空試驗設備和半導體高真空設備，尤其涉及ー種低溫泵與冷阱穩的穩壓供液裝置。
技術介紹
航天領域的空間環境模擬試驗設備、半導體行業的高真空設備中的低溫泵和液氮冷阱，在設備運行時要對低溫泵和液氮冷阱提供低壓穩定的液氮，使低溫泵和液氮冷阱的低溫界面始終保持在-190°C以下，為了達到-190°C以下穩定的工作溫度，需要設置ー個能夠提供低壓穩定的供液裝置，現有技術中用閥門控制供液裝置，經常出現因供液過大或不足而使使低溫泵和液氮冷阱的內部溫度不穩定，從而影響低溫泵和液氮冷阱的工作穩定； 另ー種方式是采用在低溫泵和液氮冷阱出口處加裝氣液分離閥，這樣的裝置也會造成壓カ不穩定而使低溫泵和液氮冷阱內的溫度達不到技術要求，從而使低溫泵和液氮冷阱不能正常工作。中國專利授權公告號CN201220915Y，授權公告日2009年4月15日，公開了ー種可提高穩定可靠性的供液裝置，其具有一裝有液體的儲液罐、一設置在儲液罐中的汲液管道、一汲取儲液罐中液體的汲液模塊和一供應汲液模塊所汲取的液體的供液管道，本技術的供液裝置還具有一設置在驅動模塊和供液管道間的耐壓緩沖容器，該汲液模塊為具有第一入口、第二入口和一出口的真空發生器，該第一入口用于通入壓縮氣體，該第二入口連接在該汲液管道上，該出口和供液管道均連接在該耐壓緩沖容器上。采用本技術可提高供液的穩定可靠性。其不足之處是該種供液裝置需要專門的空氣壓縮機提供壓縮氣體來把液體壓縮到耐壓緩沖器中，同時需要電器控制，協同動作才能實現供液裝置正常工作，對整個控制系統的穩定性要求很高，同時空氣壓縮機提供的氣壓強度不是很穩定，氣壓會在一定范圍內波動，從而影響供液流量的不穩定，從而影響設備的正常工作。
技術實現思路
本技術為了克服現有技術中的供液裝置或是閥門控制或是氣壓控制從而導致液體流量不穩定影響設備工作穩定性的不足，提供了一種通過位差來供液從而保障低溫泵與冷阱正常穩定工作的的穩壓供液裝置。為了實現上述目的，本技術采用如下技術方案ー種低溫泵與冷阱的穩壓供液裝置，包括冷阱、低溫泵和儲液罐，所述的冷阱和低溫泵通過管道與儲液罐連接，所述的儲液罐的下端的位置高于冷阱和低溫泵上端位置，所述儲液罐的上端設有出氣閥，所述冷阱和低溫泵的一端與儲液罐的下端連通，另一端與儲液罐的上端連通。儲液罐內裝有低溫液氮，儲液罐的上端留有一部分空腔用以連接排氣管，儲液罐的位置高于冷阱和低溫泵的位置，這樣儲液罐就與冷阱和低溫泵之間產生位差，在重力的作用下，低溫液氮順著管道流向冷阱和低溫泵，能保證低溫泵和液氮冷阱的低溫界面始終保持在-190°C以下，從而保證低溫泵和冷阱的正常工作，流過冷阱和低溫泵的液氮在吸收了冷阱和低溫泵的熱量后，溫度升高，液氮會變成氣態的氮，然后低溫泵及冷阱所放出來的氣液兩相的氣體通過高位儲液罐分離，氣體從儲液罐上端的出氣閥直接排入大氣，這樣就實現了整個供液過程，位差供液不需要借助外在的各種設備或者是控制閥門等，穩定可靠，能保障設備的穩定可靠的工作。作為優選，所述的冷阱和低溫泵并聯后與儲液罐的上下兩端連接。冷阱和儲液罐并聯，這樣便于單獨控制冷阱和低溫泵的供液，同時保證所供的液氮的狀態是一致的，能夠保障冷阱和低溫泵工作的穩定的低溫環境。作為優選，所述冷阱的進液管上設有冷阱進液閥，其出液管上設有冷阱出液閥，所述低溫泵的進液管上設有低溫泵進液閥，其出液管上設有低溫泵出液閥。打開冷阱進液閥就能實現儲液罐對冷阱的自動穩定供液，打開低溫泵進液閥就實現儲液罐對低溫泵的自動穩定供液，有效保障冷阱和低溫泵的低溫試驗工作環境，操作十分簡單、便利，冷阱出液閥和低溫泵出液閥用于把冷阱和低溫泵所放出來的氣液兩相的氣體釋放到儲液罐，通過儲液罐上端分離并把氣體排入大氣。 作為優選，所述的冷阱出液端還設有冷阱保護閥，所述的低溫泵的出液端設有低溫泵保護閥。當冷阱和低溫泵出緊急故障時可以先關閉冷阱進液閥和低溫泵進液閥，然后通過冷阱保護閥和低溫泵保護閥排出剰余的氮，從而方便的對冷阱和低溫泵進行檢修，方便又安全。作為優選，所述的儲液罐的位置高于低溫泵和冷阱位置的6-10米。為了給冷阱和低溫泵提供一個穩定可靠的液氮，儲液罐與冷阱和低溫泵的位差很重要，儲液罐的位置過低，達不到所需要的供液效果，位置太高對于支架及輔助設備的要求高，提高成本，因此6-10米的高度能滿足儲液罐給冷阱和低溫泵提供一個穩定可靠的位差，同時不會對支架等輔助工具有大大的要求，成本適宜。作為優選，所述的儲液罐上設有自動補液裝置。隨著儲液罐不斷的給冷阱和低溫泵供液氮，液氮也源源不斷的變成氣體然后排入大氣中，這樣儲液罐的液氮的量會愈來越少，此時自動補液裝置就能檢測到儲液罐中液氮的液位高度，若液位低于設置值，則會自動為儲液罐補給液氮。作為優選，所述的自動補液裝置包括與儲液罐上下兩端連接的壓差傳感器和設置在儲液罐上的自動進液閥，所述的壓差傳感器上連接有可控制自動進液閥的傳感器控制器。壓差傳感器可以感應儲液罐頂部與底部的壓カ差，當壓カ差小于設定值時，傳感器控制器會控制自動進液閥打開，這樣就能實現儲液罐的自動補液工作，補液后，壓差傳感器感應到壓カ差達到設定的范圍時，傳感器控制器就自動控制自動進液閥關閉。作為優選，所述的自動進液閥上設有手動控制裝置。當整個自動補液裝置出現緊急故障時，可以通過手動控制裝置手動快速方便的關閉自動進液閥供液，進行檢修，有效防止液氮泄漏溢出等安全事故的發生。作為優選，所述的儲液罐的頂部設有安全閥。當整個供液裝置和設備沒有工作吋，儲液罐的液氮自身吸收外界熱量，一部分液氮會揮發成氮氣，從而使得儲液罐內的氣壓升高，當氣壓達到足夠大的強度時會造成安全事故，而安全閥是當儲液罐內的壓カ達到一定的程度時會自動打開排氣，從而保證了儲液罐中的穩定的安全氣壓，防止儲液罐因氣壓過高而產生安全事故。因此，本技術具有通過位差來為冷阱和低溫泵設備提供穩定的供液從而保證設備正常的工作環境的有益效果。本技術還具有當儲液te中液氣含量不足時能夠自動為儲液te補給液氣的有益效果。附圖說明圖I為本技術的一種結構示意圖。圖中冷阱I低溫泵2儲液罐3壓差傳感器4低溫泵進液閥5低溫泵出液閥6低溫泵保護閥7冷阱進液閥8冷阱出液閥9冷阱保護閥10出氣閥11安全閥12自動進液閥13傳感器控制器14。具體實施方式以下結合附圖和具體實施方式對本技術作進ー步描述如圖I所示的ー種低溫泵與冷阱的穩壓供液裝置，包括冷阱I、低溫泵2和儲液罐3，冷阱I和低溫泵2先用管道并聯后再與儲液罐3的上下兩端連接，儲液罐3的下端的位置高于冷阱I和低溫泵2上端位置，液罐3的位置比低溫泵2和冷阱I的位置高8米，儲液罐的液氮通過位差進入管道流入低處的低溫泵2和儲液罐3，從而為低溫泵2和儲液罐3提供液氮，保障低溫泵2和儲液罐3的低溫工作環境，儲液罐的上端設有出氣閥11，儲液罐的內部上端留有ー個空間用以分離和排放氣體，流經低溫泵2和儲液罐3的液氮吸收低溫泵2和儲液罐3的熱量后，溫度升高，液氮會變成氣態的氮，然后低溫泵及冷阱所放出來的氣液兩相的氣體通過高位儲液罐分離，氣體從儲液罐上端的出氣閥直接排入大氣，這樣就實現了整個供液過程，位差供液不需要借助外在的各種設備或者是控制閥門等，穩定可靠，能保本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種低溫泵與冷阱的穩壓供液裝置，包括冷阱（1）、低溫泵（2）和儲液罐（3），所述的冷阱（1）和低溫泵（2）通過管道與儲液罐（3）連接，其特征是，所述的儲液罐（3）的下端的位置高于冷阱（1）和低溫泵（2）上端位置，所述儲液罐的上端設有出氣閥（11），所述冷阱（1）和低溫泵（2）的一端與儲液罐（3）的下端連通，另一端與儲液罐（3）的上端連通。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：毛亨國，徐國明，徒誠雄，金超杰，翁警濤，楊川，吳達晟，楊旭，
申請(專利權)人：杭州杭氧環保成套設備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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