【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種低振動靜壓氣體軸承，尤其是涉及一種降低氣體軸承的振動幅度、提高氣浮支撐運動定位平臺精度的靜壓氣浮支撐
技術介紹
靜壓氣體軸承因具有精度高、無摩擦、無磨損、無需保養、環境適應能力強、低速時不出現爬行和滯后等卓越性能而廣泛應用于微電子制造及其測量裝備。隨著微電子制造及其測量裝備精度要求的不斷提高，對氣體軸承支撐的運動定位平臺的運動定位精度提出更加苛刻的要求。受節流形式、氣膜厚度、預載方式、幾何形狀、加工精度、供氣壓力及工況等諸多因 素的影響，氣體軸承內氣體在極短時間內流動狀態發生多次變化，氣膜間隙內的氣壓波動使氣體軸承產生振幅從幾納米到幾十納米，頻率從幾十赫茲到幾千赫茲的寬頻微幅自激振動，這種自激振動對平臺的運動定位精度產生極為不利的影響，制約氣體軸承在微電子制造及其測量裝備中進一步推廣應用。現有技術中有一種無氣腔的環面節流靜壓止推氣體軸承，其振動幅度比帶氣腔的氣體軸承的振動幅度要小得多，但是前者承載能力和剛度遠不及后者，實際應用中還是以帶氣腔的氣體軸承為主。而帶氣腔的氣體軸承在正常工作過程中，在節流孔出口附近會形成復雜且不穩定的漩渦，漩渦的不斷產生和破裂導致流場壓力劇烈變化，是引起該軸承微幅自激振動的主要原因之一。針對上述問題，本專利技術提出一種低振動靜壓止推氣體軸承，對降低靜壓氣體軸承振動的幅值，提高氣浮平臺的運動定位精度都具有非常重要意義。
技術實現思路
本專利技術之目的是提出一種低振動靜壓氣體軸承，以解決現有技術存在的不足。為了實現本專利技術之目的，擬采用以下技術方案本專利技術由軸承體、軸承體內部的節流孔以及軸承體底部的氣腔組...
【技術保護點】
一種低振動靜壓氣體軸承，由軸承體(1)、軸承體(1)內部的節流孔(2)以及軸承體(1)底部的氣腔(5)組成，其特征在于：在所述的氣腔(5)內設置有擾流臺(4)，節流孔(2)與氣腔(5)采用連接曲面(4)相連接。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：李運堂，藺應曉，朱紅霞，袁柯銘，
申請(專利權)人：中國計量學院，
類型：發明
國別省市：
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