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    涂布裝置制造方法及圖紙

    技術編號:8422065 閱讀:164 留言:0更新日期:2013-03-15 18:41
    本實用新型專利技術公開了一種涂布裝置,包括有狹縫噴嘴,所述狹縫噴嘴由兩個噴嘴分體固定連接而成,所述兩個噴嘴分體中的至少一個設置有調整空腔、以及與所述狹縫噴嘴的狹縫平行設置的調整螺栓,所述調整螺栓穿過所述調整空腔、且至少一端露出所述噴嘴分體。調整螺栓露出噴嘴分體的一端設置有調整螺母。這樣,通過擰緊調整螺母而壓迫調整空腔,使整個噴嘴分體變形,從而使狹縫噴嘴的狹縫變大,來調整涂布材料的排出量,從而使涂布于基板等基材上的涂布材料更均勻。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及涂布技術,特別涉及一種涂布裝置
    技術介紹
    目前,基板涂布通用技術為用涂布裝置將感光材料涂 布于基板之上,然后將涂布有感光材料的基板置于離心機上高速旋轉,使基板上涂布的感光材料甩均勻。采用這一涂布技術的主要原因是涂布裝置涂布精度無法達到要求,無法利用涂布裝置將感光材料均勻涂布于基板上,故采用預先將厚的感光材料涂布于基板上,再進行高速旋轉方式來達到涂布均勻目的。圖I為狹縫噴嘴的涂布裝置的剖面圖,如圖I所示,通用的涂布裝置是由噴嘴分體I、噴嘴分體2兩部分合成一個整體狹縫噴嘴結構而形成,具體的,噴嘴分體I及噴嘴分體2之間通過固定螺栓5固定連接為一體。噴嘴分體I及噴嘴分體2的下部呈錐形,錐形部分貼合在一起形成狹縫噴嘴,噴嘴分體I及噴嘴分體2所形成的狹縫寬度為0. IOmm左右。涂布裝置中還設置有盛放感光材料的存儲室3,涂布裝置上端中央部分還設置有感光材料進料孔14,對基板進行感光材料涂布時,利用氣動壓力泵將感光材料壓進進料孔14,在壓力作用下,存儲室3中的感光材料經由噴嘴分體I及噴嘴分體2之間的狹縫而涂布于基板上。在涂布過程中,可通過調節壓力泵的氣壓而調整感光材料吐出量。目前,通用的這種預先涂布結構雖可以將感光材料涂布在基板之上,但在涂布感光材料后需將基板高速旋轉,才能將部分感光材料甩掉,并使基板上的感光材料均勻涂布。這不但會造成感光材料浪費,并且隨著基板尺寸的不斷變大,在高速離心設備上旋轉時很容易導致基板破碎;導致上述缺陷的主要原因是,涂布裝置的狹縫噴嘴的狹縫尺寸不能調整,涂布精度很難提高,且最終的涂布平整度和均勻性很難保證。
    技術實現思路
    有鑒于此,本技術的主要目的在于提供一種涂布裝置,能對涂布裝置的狹縫噴嘴的狹縫間隙進行調整,使涂布于基板上的涂布材料更均勻。為達到上述目的,本技術的技術方案是這樣實現的—種涂布裝置,包括有狹縫噴嘴,所述狹縫噴嘴由兩個噴嘴分體固定連接而成,所述兩個噴嘴分體中的至少一個設置有調整空腔、以及與所述狹縫噴嘴的狹縫平行設置的調整螺栓,所述調整螺栓穿過所述調整空腔、且至少一端露出所述噴嘴分體。優選地,所述調整螺栓露出所述噴嘴分體的一端設置有調整螺母。優選地,所述調整空腔為槽。優選地,所述槽沿所述狹縫噴嘴的長度方向設置;所述槽的長度與所述狹縫噴嘴的長度相等或小于所述狹縫噴嘴的長度。優選地,所述槽位于所述狹縫噴嘴高度的三分之一至五分之一處。優選地,所述槽的深度大于二分之一所述噴嘴分體的厚度。優選地,所述涂布裝置還包括用于盛放涂布材料的存儲室;所述噴嘴分體上還設置有氣泡導出孔,所述氣泡導出孔與所述存儲室連通。優選地,所述存儲室的截面形狀為三角形。優選地,所述涂布材料為感光材料。本技術的涂布裝置的狹縫噴嘴由兩個噴嘴分體固定連接而成,該兩個噴嘴分體中的至少一個設置有調整空腔、以及與狹縫噴嘴的狹縫平行設置的調整螺栓,調整螺栓穿過調整空腔、且至少一端露出噴嘴分體而設置。調整螺栓露出噴嘴分體的一端設置有調整螺母。這樣,通過擰緊調整螺母而壓迫調整空腔,使整個噴嘴分體變形,從而使狹縫噴嘴的狹縫間隙變大,來調整涂布材料的排出量,從而使涂布于基板等基材上的涂布材料更均勻。附圖說明 圖I為狹縫噴嘴的涂布裝置的剖面圖;圖2為本技術的涂布裝置的結構示意圖;圖3為圖2的A-A剖面示意圖。附圖標記說明I、噴嘴分體;2、噴嘴分體;3、存儲室;4、調整螺栓;4_1、調整螺母;4_2、調整螺母;5、固定螺栓;6、基板;10、氣泡導出孔;12、調整空腔;14、進料孔。具體實施方式對于液晶顯示面板的加工而言,首先對玻璃基板進行鍍膜,再在鍍膜后的玻璃基板上均勻涂布感光材料,之后進行曝光、化學品顯像,最終得到相應的圖案;在感光材料涂布工藝時,對感光材料涂布的平整度和均勻性要求很高,傳統涂布方式為將感光材料涂布于基板之上,稱為預涂布,然后在離心機上利用高速度旋轉來滿足感光材料厚度和平整度、均勻性要求;對于傳統的涂布方式是通過氣動壓力泵的壓力作用實現對基板的感光材料涂布,但由于狹縫噴嘴間隙不可調節,這樣,只能通過氣動壓力泵的氣壓來調整感光材料的涂布量,而氣壓調節的涂布材料涂布量,通過一次涂布很難保證對基板進行均勻涂布,也很難保證涂布的平整度、均勻性要求。針對于此,本技術通過在涂布裝置的狹縫噴嘴一側設置U形槽,并沿狹縫噴嘴上下設置調整螺栓,通過擰緊調整螺母使U形槽變形,從而利用狹縫噴嘴的變形調整狹縫噴嘴的狹縫間隙,進而達到調節狹縫噴嘴涂布量的目的,保證在基板上進行一次涂布即完成將感光材料均勻平整地涂布于基板上,且能保證涂布均勻精度,滿足后續加工工藝要求。以下詳細說明本技術的結構。圖2為本技術的涂布裝置的結構示意圖,圖3為圖2的A-A剖面示意圖,如圖2、圖3所示,本技術的涂布裝置包括有狹縫噴嘴,狹縫噴嘴由噴嘴分體I、噴嘴分體2固定連接而成,噴嘴分體I、噴嘴分體2中的至少一個設置有調整空腔12以及與狹縫噴嘴的狹縫平行設置的調整螺栓4,調整螺栓4穿過調整空腔12、且至少一端露出噴嘴分體1、2而設置。通過設置多個固定螺栓5將噴嘴分體I、噴嘴分體2固定連接在一起。固定螺栓5橫穿噴嘴分體I、噴嘴分體2,通過固定螺栓5兩端設置的螺母將噴嘴分體I、噴嘴分體2固定連接在一起。圖中,調整空腔12設置于噴嘴分體2上,當然,也可以將調整空腔12設置于噴嘴分體I上,也可以在噴嘴分體I、噴嘴分體2上分別設置調整空腔12。本實施例主要以圖2、圖3所示的結構進行說明,不應理解為對本技術涂布裝置的結構限制。如圖2、圖3所示,調整螺栓4豎直設置于噴嘴分體2上并穿過調整空腔12,調整螺栓4兩端均露出噴嘴分體2。調整螺栓4露出噴嘴分體2的兩端均設置有調整螺母4-1、調整螺母4-2。這樣,通過不斷擰緊調整螺栓4兩端的調整螺母4-1、調整螺母4-2,噴嘴分體2豎直方向承受豎直方向的壓力,在壓力壓迫下,調整空腔12受壓變形,從而使狹縫噴嘴的狹縫間隙變大,達到調整狹縫噴嘴的狹縫間隙的目的。當然,如果僅使調整螺栓4的一端露出噴嘴分體,也能實現對狹縫噴嘴的狹縫間隙的調整,其實現原理與兩端露出而調整狹縫噴嘴的狹縫間隙的原理基本一致。當調整螺栓4僅有一端露出噴嘴分體時,非露出的一端端部需設置螺紋,通過擰緊調整螺栓4露出一端的螺母,即可實現對調整空腔12的壓迫,從而使調整空腔12變形,實現對狹縫噴嘴的狹縫間隙的調整。本技術中,狹縫噴嘴的狹縫間隙的調節量為0. IOmm 0. 25mm。如圖2所示,本技術中,調整空腔12為槽。調整空腔12沿狹縫噴嘴的長度方向設置;調整空腔12的長度與噴嘴分體2的長度相等或小于噴嘴分體2的長度。本技術中,調整空腔12設置為其他形狀,也能實現對狹縫噴嘴的狹縫間隙調整的目的。本技術所示圖中,槽為方形槽(U形槽),也可以是其他形狀的槽,如圓形槽,燕尾槽等形狀。本技術中,調整空腔12最好位于狹縫噴嘴高度的三分之一至五分之一處,調整空腔12的深度最好為大于二分之一噴嘴分體的厚度。本技術中,涂布裝置的存儲室3的截面形狀為三角形,噴嘴分體I上還設置有氣泡導出孔10,氣泡導出孔10與存儲室3連通。存儲室3之所以采用三角形結構,主要原因在于,當通過氣動壓力泵對涂布材料施壓時,存儲室3底部所受壓本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種涂布裝置,包括有狹縫噴嘴,所述狹縫噴嘴由兩個噴嘴分體固定連接而成,其特征在于,所述兩個噴嘴分體中的至少一個設置有調整空腔、以及與所述狹縫噴嘴的狹縫平行設置的調整螺栓,所述調整螺栓穿過所述調整空腔、且至少一端露出所述噴嘴分體。

    【技術特征摘要】
    1.一種涂布裝置,包括有狹縫噴嘴,所述狹縫噴嘴由兩個噴嘴分體固定連接而成,其特征在于,所述兩個噴嘴分體中的至少一個設置有調整空腔、以及與所述狹縫噴嘴的狹縫平行設置的調整螺栓,所述調整螺栓穿過所述調整空腔、且至少一端露出所述噴嘴分體。2.根據權利要求I所述的涂布裝置,其特征在于,所述調整螺栓露出所述噴嘴分體的一端設置有調整螺母。3.根據權利要求I或2所述的涂布裝置,其特征在于,所述調整空腔為槽。4.根據權利要求3所述的涂布裝置,其特征在于,所述槽沿所述狹縫噴嘴的長度方向設置;所述槽的長度與所述狹縫噴嘴的長度相等或...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:焦宇宋瑞濤吳超
    申請(專利權)人:北京京東方光電科技有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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