一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺制造技術

本實用新型專利技術屬于自動化設備技術領域，具體涉及一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺。包括底座、固定底座、真空吸盤、二維角度調整座和抽氣管；其外部裝置為真空泵；其中，所述底座為上下兩臺階段結構；在所述真空吸盤中心位置開有吸附氣腔，在所述真空吸盤的外端面開有吸附氣槽；所述二維角度調整座由第一調整層、第二調整層、第三調整層、垂直柔性鉸鏈和水平柔性鉸鏈組成；所述垂直柔性鉸鏈設在第二調整層和第三調整層之間，所述水平柔性鉸鏈設在第一調整層和第二調整層之間；該平臺根據用戶需要，可水平安裝，也可垂直安裝，安裝方便，可在自動化設備上靈活應用，為自動化領域針對光學元件、晶圓、精密加工件等提供更好的裝載工裝治具。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于自動化設備
，具體涉及一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺。
技術介紹
在自動化設備領域，為了滿足各種產品的生產工藝并最終制造出質量合格的產品，首先需要解決在生產和品質檢測過程對產品的裝夾問題，因此各類裝載夾具應運而生，針對光學元件、晶圓、精密加工件等對制造工藝和品質要求嚴格的精密元件，在制造、品質檢測及搬運過程中的裝夾要求更高，一旦因裝載夾具問題，則極易導致產品最終不符合要求。傳統應用于該領域的裝載夾具，一般將精密元件的基準平面放置在具有很高平面度的裝載平臺上，再利用固定件進行固定，以使得其在制造、品質測量及搬運過程中保持穩定，便于提高加工和測量精度和搬運過程中的可靠性。但這種方式會導致如下問題:I)直接放置在具有高平面度的裝載平臺上，會造成放置不穩定。因為精密元件的基準面平面度不一定也很高，最終與裝載平臺接觸也只能是點接觸，最終導致不易放平；2)精密元件由于是直接放置在裝載平臺上的，需要外部固定，而為了便于固定后預留出足夠的制造、品質檢測工藝空間，一般都只能是通過這些元件邊緣來進行固定，這樣導致這些元件邊緣局部受力，造成應力集中，元件自身發生局部變形，且中間區域又無有效固定，必然會最終影響精密元件制造和品質檢測的精度。3) 一般這些精密元件，如光學元件，表面不適宜受壓，因為這樣易導致光學元件碎裂或表面磨損。而晶圓自身為脆性材料，易碎，一旦固定力不均勻，就會導致碎裂報廢。精密加工件也易在固定處導致磨損、變形等。解決傳統應用于自動化領域針對光學元件、晶圓、精密加工件等制造、品質檢測、搬運過程中存在的如下問題:I)直接放置在具有高平面度的裝載平臺上，會造成放置不穩定。因為精密元件的基準面平面度不一定也很高，最終與裝載平臺接觸也只能是點接觸，最終導致不易放平；2)精密元件由于是直接放置在裝載平臺上的，需要外部固定，而為了便于固定后預留出足夠的制造、品質檢測工藝空間，一般都只能是通過這些元件邊緣來進行固定，這樣導致這些元件邊緣局部受力，造成應力集中，元件自身發生局部變形，且中間區域又無有效固定，必然會最終影響精密元件制造和品質檢測的精度。3) 一般這些精密元件，如光學元件，表面不適宜受壓，因為這樣易導致光學元件碎裂或表面磨損。而晶圓自身為脆性材料，易碎，一旦固定力不均勻，就會導致碎裂報廢。精密加工件也易在固定處導致磨損、變形等。本專利提出一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺，如圖1、圖2所示。該平臺作為一種精密的裝載夾具(工裝)，由底座、固定底座、二維角度調整座、抽氣管、抽氣管接頭、真空吸盤等構成。其中，真空吸盤固定在二維角度調整座上，其尾部安裝有抽氣氣管接頭，連接真空泵，則可在裝載件放置在裝載平臺上后對吸附氣槽和吸附氣腔抽真空，從而通過真空方式將光學元件、晶圓、精密加工件等精密元件吸附住，吸附力的大小可根據被吸附元件的材料特性來調解大小，確保在可靠吸牢元件的同時，不對被吸附元件造成任何傷害。另外，由于吸附氣槽和吸附氣腔均勻布置，精密元件被放置在平臺表面后，被吸附元件表面四周會受均勻吸附力作用，不會導致局部受力不均勻而產生應力，從而避免產品因裝夾對被吸附元件造成變形。
技術實現思路
基于上述問題，本技術提出一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺，該平臺為可作為精密裝載夾具很好地解決上述問題，且在解決上述問題基礎上，增加了相互解耦的二維角度調節功能，以使在所裝載元件在制造和品質檢測過程能方便適應加工工具或測頭的作用方向，幫助提高加工質量和測量精度。為了實現上述目的，本技術的技術方案是設計一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺，包括底座、固定底座、真空吸盤、二維角度調整座和抽氣管；其外部裝置為真空栗;其中，所述底座為上下兩臺階段結構；在所述真空吸盤中心位置開有吸附氣腔，在所述真空吸盤的外端面開有吸附氣槽；所述二維角度調整座由第一調整層、第二調整層、第三調整層、垂直柔性鉸鏈和水平柔性鉸鏈組成；所述垂直柔性鉸鏈設在第二調整層和第三調整層之間，所述水平柔性鉸鏈設在第一調整層和第二調整層之間；其連接關系在于:所述固定底座固定安裝在所述底座的上臺階段上，所述二維角度調整座通過第一調整層固定安裝在所述所述固定底座的上端部，所述真空吸盤固定安裝在所述二維角度調整座的第三調整層外側，所述抽氣管一端與真空吸盤的吸附氣腔和吸附氣槽貫通并與外密封；所述抽氣管的另一端與真空泵相連。所述底座通過在其下臺階段開孔用螺釘進行固定。在所述真空吸盤的吸附氣槽和吸附氣腔是通過開有吸附氣孔與抽氣管貫通。在所述二維角度調整座第二調整層和第三調整層之間的垂直柔性鉸鏈為均布設置的四個。在所述二維角度調整座第一調整層和第二調整層之間的水平柔性鉸鏈為均布設置的四個。在所述真空吸盤上外圓周面上裝有堵頭。在所述二維角度調整座的端面上設有水平偏擺調解螺釘和垂直偏擺調解螺釘。本技術的優點和有益效果在于:平臺除具有吸附固定精密元件外，還具有相互解耦的調解繞水平方向和垂直方向的角度自由度的功能，以使得在精密元件的制造和品質測量過程，保持相對加工工具和測頭的最佳位置關系，幫助提高加工精度和測量精度。該平臺根據用戶需要，可水平安裝，也可垂直安裝，安裝方便，可在自動化設備上靈活應用。該平臺將真空吸盤固定在二維角度調整座上，其尾部安裝有抽氣氣管接頭，連接真空泵，則可在裝載件放置在裝載平臺上后對吸附氣槽和吸附氣腔抽真空，從而通過真空方式將光學元件、晶圓、精密加工件等精密元件吸附住，吸附力的大小可根據被吸附元件的材料特性來調解大小，確保在可靠吸牢元件的同時，不對被吸附元件造成任何傷害。另外，由于吸附氣槽和吸附氣腔均勻布置，精密元件被放置在平臺表面后，被吸附元件表面四周會受均勻吸附力作用，不會導致局部受力不均勻而產生應力，從而避免產品因裝夾對被吸附元件造成變形。平臺除具有吸附固定精密元件外，還具有相互解耦的調解繞水平方向和垂直方向的角度自由度的功能，以使得在精密元件的制造和品質測量過程，保持相對加工工具和測頭的最佳位置關系，幫助提高加工精度和測量精度。該平臺根據用戶需要，可水平安裝，也可垂直安裝，安裝方便，可在自動化設備上靈活應用，為自動化領域針對光學元件、晶圓、精密加工件等提供更好的裝載工裝治具。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖；圖2為本技術的結構示意圖；圖3為本技術的主視結構示意圖；圖4為本技術的后視結構示意圖；圖5為本技術的左視結構示意圖。其中，1-螺釘；2-底座；3_固定底座；4_真空吸盤；5_ 二維角度調整座；6-抽氣管；7_吸附氣槽；8_吸附氣腔；9_水平偏擺調解螺釘；10_堵頭；11_垂直偏擺調解螺釘；12-吸附氣孔；13_垂直柔性鉸鏈；14_水平柔性鉸鏈。具體實施方式以下結合附圖和實施例對本技術的具體實施方式作進一步描述，以下實施例僅用于更加清楚地說明本技術的技術方案，而不能以此來限制本技術的保護范圍。如圖1至圖4所示，本技術具體實施的技術方案是:一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺，包括底座2、固定底座3、真空吸盤4、二維角度調整座5和抽氣管6 ;其外部裝置為真空泵；其中，所述底座2為上下兩臺階段結構；在所述真空吸盤4中心位置開有吸附氣腔8，在所述真空吸盤4的外端面開有吸附氣槽7 ;所述本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺，其特征在于：包括底座（2）、固定底座（3）、真空吸盤（4）、二維角度調整座（5）和抽氣管（6）；其外部裝置為真空泵；其中，所述底座（2）為上下兩臺階段結構；在所述真空吸盤（4）中心位置開有吸附氣腔（8），在所述真空吸盤（4）的外端面開有吸附氣槽（7）；所述二維角度調整座（5）由第一調整層、第二調整層、第三調整層、垂直柔性鉸鏈（13）和水平柔性鉸鏈（14）組成；所述垂直柔性鉸鏈（13）設在第二調整層和第三調整層之間，所述水平柔性鉸鏈（14）設在第一調整層和第二調整層之間；其連接關系在于：所述固定底座（3）固定安裝在所述底座（2）的上臺階段上，所述二維角度調整座（5）通過第一調整層固定安裝在所述所述固定底座（3）的上端部，所述真空吸盤（4）固定安裝在所述二維角度調整座（5）的第三調整層外側，所述抽氣管（6）一端與真空吸盤（4）的吸附氣腔（8）和吸附氣槽（7）貫通并與外密封；所述抽氣管（6）的另一端與真空泵相連。

【技術特征摘要】
1.一種帶二維角度調節功能的真空吸附平臺，其特征在于:包括底座(2)、固定底座(3)、真空吸盤(4)、二維角度調整座(5)和抽氣管(6);其外部裝置為真空泵； 其中，所述底座(2)為上下兩臺階段結構； 在所述真空吸盤(4)中心位置開有吸附氣腔(8)，在所述真空吸盤(4)的外端面開有吸附氣槽(7)； 所述二維角度調整座(5)由第一調整層、第二調整層、第三調整層、垂直柔性鉸鏈(13)和水平柔性鉸鏈(14)組成；所述垂直柔性鉸鏈(13)設在第二調整層和第三調整層之間，所述水平柔性鉸鏈(14)設在第一調整層和第二調整層之間； 其連接關系在于:所述固定底座(3)固定安裝在所述底座(2)的上臺階段上，所述二維角度調整座(5)通過第一調整層固定安裝在所述所述固定底座(3)的上端部，所述真空吸盤(4)固定安裝在所述二維角度調整座(5)的第三調整層外側，所述抽氣管(6)—端與真空吸盤(4)的吸附氣腔(8)和吸附氣槽(7)貫通并與外密封；所述抽氣管(6)的另一端與真空泵相連。2.根據權利要求1所述的一種帶二...

【專利技術屬性】
技術研發人員：夏發平，
申請(專利權)人：昆山允可精密工業技術有限公司，
類型：實用新型
國別省市：