【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及數字微鏡器件
，具體是指。
技術介紹
目前數字微鏡器件(DMD)的用途主要集中在全息成像、表面形貌測量、3D打印等領域，利用DMD微鏡對光束進行分割，以達到并行成像或測量的目的。DMD微鏡的抖動是DMD的重要特性，可以借助這一特性實現對微鏡反射光線的光強進行調節；但是這一特性也會造成光強調節后的不穩定，即在不同時刻所拍攝的圖片的局部灰度發生竄動，成為了表面形貌測量的重要誤差源。因此，如何消除DMD微鏡抖動，減弱或消除其對測量造成的影響是利用DMD進行表面形貌測量的關鍵技術問題。目前，能夠有效消除DMD微鏡抖動的方法尚未見報道，是一個待解決的技術難題。
技術實現思路
本專利技術的目是為避免現有技術方法所存在的不足之處，提供，利用雙CCD來達到消除DMD微鏡抖動的目的，從而消除DMD用于表面形貌測量時的重要誤差源。為了達成上述目的，本專利技術的解決方案是:—種去除數字微鏡器件微鏡抖動的裝置，包括激光光源、DMD、第一 (XD相機及第二 CCD相機；所述激光光源發出的光束照射在所述DMD上，所述第一 CCD相機和第二 CCD相機分別位于所述激光光源光線入射進所述DMD所形成的第一反射光束處和第二反射光束處。一種去除數字微鏡器件微鏡抖動的方法，激光光源發出光束照射在DMD表面，經由DMD表面的微鏡反射后，于反射空間內出現一對互補像,該一對互補像的對應反射光束分別被第一 CCD相機和第二 CCD相機同時接收，將所接收的一對互補像進行疊加處理，即實現消除DMD微鏡抖動。采用上述方案后，本專利技術相對于現有技術的有益效果在于:本專利技術...
【技術保護點】
一種去除數字微鏡器件微鏡抖動的裝置，其特征在于：包括激光光源、DMD、第一CCD相機及第二CCD相機；所述激光光源發出的光束照射在所述DMD上，所述第一CCD相機和第二CCD相機分別位于所述激光光源光線入射進所述DMD所形成的第一反射光束處和第二反射光束處。
【技術特征摘要】
1.一種去除數字微鏡器件微鏡抖動的裝置，其特征在于:包括激光光源、DMD、第一 CXD相機及第二 CCD相機；所述激光光源發出的光束照射在所述DMD上，所述第一 CCD相機和第二 CCD相機分別位于所述激光光源光線入射進所述DMD所形成的第一反射光束處和第二反射光束處。2....
【專利技術屬性】
技術研發人員：余卿，崔長彩，付勝杰，范偉，葉瑞芳，
申請(專利權)人：華僑大學，
類型：發明
國別省市：福建;35
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