磁盤用玻璃基板的制造方法技術

本發明專利技術提供磁盤用玻璃基板的制造方法，在使用氧化鋯磨粒作為游離磨粒的研磨材料進行研磨來制造磁盤用玻璃基板時，可以制造難以產生磁頭劃碰故障、熱粗糙故障等不良情況的磁盤用玻璃基板。該方法為具備一對主表面以及與該一對主表面正交的側壁面的磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法包括：研磨工序，使盤狀的玻璃坯板保持在載具中，利用研磨墊夾著該玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨墊之間供給具有氧化鋯顆粒作為研磨磨粒的研磨液，使研磨墊與玻璃坯板進行相對移動，由此對玻璃坯板的主表面進行研磨；和除去工序，在上述研磨工序之后，物理性除去在研磨上述玻璃坯板的側壁面或主表面時由于該玻璃坯板的側壁面與玻璃基板的側壁面面對的載具的端面發生摩擦而附著于玻璃坯板的側壁面的氧化鋯顆粒。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】磁盤用玻璃基板的制造方法
本專利技術涉及磁盤用玻璃基板的制造方法。
技術介紹
如今，在個人計算機或DVD(DigitalVersatileDisc)記錄裝置等中內置有用于記錄數據的硬盤裝置(HDD：HardDiskDrive)。特別是在筆記型個人計算機等以移動性為前提的設備中使用的硬盤裝置中，使用在玻璃基板上設置有磁性層的磁盤，利用在磁盤的面上微微懸浮的磁頭對磁性層記錄或讀取磁記錄信息。作為該磁盤的基板，由于具有比金屬基板(鋁基板)等更難以發生塑性變形的性質，因而優選使用玻璃基板。另外，應增大硬盤裝置中存儲容量的要求，尋求磁記錄的高密度化。例如使用垂直磁記錄方式，使磁性層中的磁化方向相對于基板的面為垂直方向，進行磁記錄信息區域(記錄位(bit))的微細化。由此，可以增大1張盤片基板中的存儲容量。進一步，為了進一步增大存儲容量，還進行通過使磁頭的記錄再現元件部更加突出，從而極度縮短其與磁記錄層之間的距離，進一步提高信息的記錄再現精度(提高S/N比)。需要說明的是，這種磁頭的記錄再現元件部的控制被稱作DFH(DynamicFlyingHeight)控制機構，配備該控制機構的磁頭被稱作DFH頭。對于與這種DFH頭組合用于HDD的磁盤用基板而言，為了避免其與磁頭或從磁頭上進一步突出的記錄再現元件部之間的碰撞和接觸，按照使基板的表面凹凸極小的方式進行制作。制作磁盤用玻璃基板的工序包括：磨削工序，利用固定磨粒對模壓成型后制成平板狀的玻璃坯板的主表面進行磨削；主表面的研磨工序，目的在于除去因該磨削工序而在主表面殘留的傷痕、變形。以往已知一種磁盤用玻璃基板的制造方法，在上述主表面的研磨工序中，使用氧化鈰(二氧化鈰)磨粒作為研磨材料(專利文獻1)。該方法中，在磨削工序后、玻璃坯板的端面研磨后，使用氧化鈰作為游離磨粒進行主表面的研磨(第一研磨)，之后對玻璃坯板進行化學強化。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2008-254166號公報
技術實現思路
專利技術要解決的問題另一方面，作為屬于稀有金屬且較難獲得的氧化鈰的研磨材料的替代，考慮使用較易獲得且以往已知在玻璃產品中作為研磨材料的氧化鋯(二氧化鋯)。然而可知，在以上述氧化鋯作為玻璃坯板的游離磨粒的研磨材料而制作的玻璃基板上成膜出磁性層從而制作磁盤的情況下，與使用氧化鈰作為研磨材料而制作的玻璃基板相比，在使用磁頭的長時間LUL試驗中，磁頭劃碰(headcrash)故障、熱粗糙(thermalasperity)故障等不良情況的產生相對增多。因此，本專利技術的目的在于提供磁盤用玻璃基板的制造方法，在使用氧化鋯磨粒作為游離磨粒的研磨材料進行研磨來制造磁盤用玻璃基板時，可以制造難以產生磁頭劃碰故障、熱粗糙故障等不良情況的磁盤用玻璃基板。用于解決問題的手段本專利技術人為了探明使用氧化鋯磨粒作為游離磨粒的研磨材料進行研磨從而制造的磁盤用玻璃基板產生磁頭劃碰故障、熱粗糙故障等不良情況的原因，進行了深入研究。其結果發現，對于玻璃基板的主表面，在鏡面拋光的研磨后，即使充分清洗主表面來去除顆粒等，但在進行磁性層的成膜時，有時在主表面仍附著有氧化鋯顆粒。此時，在氧化鋯顆粒的上方層積磁性層而導致在磁性層的表面上形成微小凹凸。因而，該微小凹凸成為磁頭劃碰故障、熱粗糙故障等不良情況的原因。進一步還可知，在玻璃基板的主表面附著的氧化鋯顆粒是研磨中使用的氧化鋯磨粒的一部分，很可能是附著于玻璃基板的外周面和內周面的側壁面上的磨粒。這樣的問題在使用氧化鈰、二氧化硅等其它磨粒作為研磨材料時不會產生，但是使用氧化鋯磨粒則會產生。需要說明的是，尚未建立有效除去附著于玻璃基板的氧化鋯顆粒的清洗方法。需要說明的是，在本說明書中，“粘固”是指例如氧化鋯顆粒扎進玻璃坯板的側壁面而被固定。需要說明的是，在本說明書中，表述為“附著”的情況下，例如除了解釋為氧化鋯顆粒僅殘留于玻璃坯板的主表面的意思以外，也可以解釋為氧化鋯顆粒粘固于玻璃坯板的側壁面的意思。即使充分清洗主表面來去除顆粒等，進行磁性層的成膜時，有時在主表面仍附著有氧化鋯顆粒，本專利技術人認為其理由如下。即，即使在通過利用氧化鋯磨粒的主表面研磨而在玻璃坯板上殘留有氧化鋯顆粒的情況下，也會通過之后對主表面的最終研磨來除去在主表面上殘留的氧化鋯顆粒，但是在玻璃坯板的側壁面上殘留或附著的氧化鋯顆粒不能通過之后的玻璃坯板的清洗而被除去。尤其是在利用氧化鋯磨粒的主表面研磨中將玻璃坯板保持在載具中進行的情況下，可知由于在研磨中玻璃坯板與載具抵接，因而氧化鋯顆粒粘固于玻璃坯板的側壁面。如此使玻璃坯板保持在載具中進行主表面研磨時，氧化鋯顆粒粘固于玻璃坯板的原因據認為是：使用氧化鋯磨粒作為研磨材料的情況下，相比于使用氧化鈰磨粒的情況，以強得多的力量將研磨墊與玻璃坯板壓緊、或者以比使用氧化鈰的情況更快的旋轉速度使定盤、載具相對于研磨墊進行旋轉(相對移動)。使用氧化鋯磨粒的情況下以如此苛刻的條件進行主表面研磨的理由是因為，如果以與使用氧化鈰磨粒的情況相同的條件進行，則加工速率相比于使用氧化鈰磨粒的情況顯著下降。并且據推測，在利用氧化鋯磨粒的主表面研磨之后的工序中，在側壁面附著的氧化鋯顆粒脫離并附著于玻璃坯板或磁盤用玻璃基板的主表面。例如可以認為，在玻璃坯板的主表面研磨之后，為了使主表面的表面性狀不變差，在工序上夾持玻璃坯板或磁盤用玻璃基板的側壁面，但是由此導致氧化鋯顆粒脫離。存在將兩塊以上的玻璃坯板或磁盤用玻璃基板裝在支架上在清洗槽或化學強化液槽中浸漬的工序時，還可以認為側壁面與箱體(カセット)抵接導致氧化鋯顆粒脫離，由此氧化鋯顆粒附著于主表面。鑒于上述情況，本專利技術人從而完成了想到如下所述方式的專利技術。即，本專利技術的方式之一涉及具備一對主表面以及與該一對主表面正交的側壁面的磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法包括：研磨工序，使盤狀的玻璃坯板保持在載具中，利用研磨墊夾著該玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨墊之間供給具有氧化鋯顆粒作為研磨磨粒的研磨液，使研磨墊與玻璃坯板進行相對移動，由此對玻璃坯板的主表面進行研磨；和除去工序，在上述研磨工序之后，物理性除去在研磨上述玻璃坯板的側壁面或主表面時由于該玻璃坯板的側壁面與玻璃基板的側壁面面對的載具的端面發生摩擦而附著于玻璃坯板的側壁面的氧化鋯顆粒。本專利技術的另一種方式涉及具備一對主表面以及與該一對主表面正交的側壁面的磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法包括：主表面研磨工序，使盤狀的玻璃坯板保持在載具中，利用研磨墊夾著該玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨墊之間供給具有氧化鋯顆粒作為研磨磨粒的研磨液，使研磨墊與玻璃坯板進行相對移動，由此對玻璃坯板的主表面進行研磨；和端面研磨工序，在上述主表面研磨工序之后，對在上述主表面研磨工序中與上述載具的端面接觸過的玻璃坯板的側壁面進行研磨。本專利技術的再一種方式涉及具備一對主表面以及與該一對主表面正交的側壁面的磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法包括：第一研磨工序，使盤狀的玻璃坯板保持在載具中，利用研磨墊夾著該玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨墊之間供給具有氧化鋯顆粒作為研磨磨粒的研磨液，使研磨墊與玻璃坯板進行相對移動，由此對玻璃坯板的主表面進行研磨；和第二研磨工序，使上述玻璃坯板保持在上述載具中，利用上述研磨墊夾著該玻璃坯板的主本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其是具備一對主表面以及與該一對主表面正交的側壁面的磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法包括：研磨工序，使盤狀的玻璃坯板保持在載具中，利用研磨墊夾著該玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨墊之間供給具有氧化鋯顆粒作為研磨磨粒的研磨液，使研磨墊與玻璃坯板進行相對移動，由此對玻璃坯板的主表面進行研磨；和除去工序，在所述研磨工序之后，物理性除去在研磨所述玻璃坯板的側壁面或主表面時由于該玻璃坯板的側壁面與玻璃基板的側壁面面對的載具的端面發生摩擦而粘固于玻璃坯板的側壁面的氧化鋯顆粒。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2011.12.29 JP 2011-290432;2011.12.29 JP 2011-290431.一種磁盤用玻璃基板的制造方法，其是具備一對主表面以及與該一對主表面正交的側壁面的磁盤用玻璃基板的制造方法，該制造方法包括：研磨工序，使盤狀的玻璃坯板保持在載具中，利用研磨墊夾著該玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨墊之間供給具有氧化鋯顆粒作為研磨磨粒的研磨液，使研磨墊與玻璃坯板進行相對移動，由此對玻璃坯板的主表面進行研磨；和除去工序，通過對經過所述研磨工序的玻璃坯板的主表面進行研磨而除去在所述研磨工序中附著于側壁面的氧化鋯顆粒，其中，在所述除去工序中，將經過所述研磨工序的玻璃坯板保持在載具的孔部，在對玻璃坯板的側壁面和載具的孔部的間隙供給了包含選自氧化鈰、氧化鋁、金剛石、氧化鈦、二氧化硅中的研磨磨粒的研磨液的狀態下，由于該玻璃坯板的側壁面和與玻璃坯板的側...

【專利技術屬性】
技術研發人員：中川裕樹，飯泉京介，巖間健太，吉丸剛太郎，
申請(專利權)人：HOYA株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP