【技術實現步驟摘要】
本技術涉及掃描電鏡領域，特別是涉及一種掃描電鏡載物臺和掃描電鏡。
技術介紹
1、描電子顯微鏡(sem)是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。
2、在進行sem測試時，我們需要將樣品通過導電膠固定在載物臺上，再將載物臺放入樣品室進行測試。目前，存在一部分待測樣本，如拉抻后的試樣，需要觀察斷裂截面、覆膜界面的試樣等。這些樣品大多都是不規則，不平整的。在粘貼過程中會出現晃動、不牢固、歪斜等情況，導致我們很難觀察到理想的位置。
技術實現思路
1、本技術實施例所要解決的技術問題在于，提供一種掃描電鏡載物臺和掃描電鏡，能夠便于調整待測樣本角度，便于待測樣本不規則表面的觀測。
2、為了解決上述技術問題，本技術提供了一種掃描電鏡載物臺，包括：樣品底座、至少一個夾持組件和基座，所述樣品底座與所述基座升降連接，每個所述夾持組件用于夾持一個待測樣本，每個所述夾持組件的底部與所述樣品底座通過萬向連接裝置萬向連接。
3、在一種可行的實施方式中，每個所述夾持組件包括：夾持底座和沿第一方向成對設置的兩個第一夾爪，每個所述第一夾爪與所述夾持底座沿所述第一方向滑動連接，兩個所述第一夾爪沿所述第一方向靠近或遠離，夾緊或松開所述待測樣本。
4、在一種可行的實施方式中，所述夾持底座沿所述第一方向開設有第一導向槽
5、在一種可行的實施方式中，夾持組件還包括成對設置的兩個第一彈性元件和兩個第一緊固件，每個所述第一彈性元件的彈性方向沿所述第一方向設置，兩個所述彈性元件沿所述第一方向設置于兩個所述第一夾爪互相遠離的兩端，兩個所述第一緊固件沿所述第一方向固定于兩個所述第一彈性元件互相遠離的兩端，一個所述第一彈性元件設置于一個所述第一夾爪與一個所述第一緊固件之間，所述第一彈性元件用于提供兩個所述第一夾爪之間互相靠近的驅動力。
6、在一種可行的實施方式中，每個所述夾持組件還包括：沿第二方向成對設置的兩個第二夾爪，每個所述第二夾爪與所述夾持底座沿所述第二方向滑動連接，兩個所述第一夾爪沿所述第二方向靠近或遠離，夾緊或松開所述待測樣本，所述第二方向與所述第一方向在水平面互相垂直。
7、在一種可行的實施方式中，所述萬向連接裝置包括：球頭元件和外圈元件，所球頭元件與所述外圈元件球鉸鏈連接。
8、在一種可行的實施方式中，所述球頭元件設置于所述夾持底座的底部，所述外圈元件為所述樣品底座，所述樣品底座設有與所述球頭對應的腔室，所述球頭元件至少部分容置于所述腔室內。
9、在一種可行的實施方式中，所述掃描電鏡載物臺包括樣品底座和至少兩個所述夾持組件。
10、在一種可行的實施方式中，所述掃描電鏡載物臺還包括螺紋桿和蝶形螺栓，所述基座通過所述螺紋桿與所述樣品底座升降連接；所述蝶形螺栓用于將所述基座與所述螺紋桿固定。
11、相應的，本申請實施例還提供一種掃描電鏡，包括上述任一項所述的掃描電鏡載物臺。
12、本申請實施例提供的掃描電鏡載物臺的夾持組件與所述底座之間通過萬向連接裝置萬向連接，使得夾持組件夾持的待測樣本可以相對所述底座萬向旋轉。具有不規則的待測樣本的不規則表面可以在所述萬向連接裝置的作用下進行萬向旋轉，從而不規則表面可以正對掃面電鏡的鏡頭，再通過基座與所述樣品底座的升降連接調整所述樣品底座與鏡頭的距離，進而可以對待測樣本的不規則表面進行更好地觀測。
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1.一種掃描電鏡載物臺，其特征在于，包括：樣品底座、至少一個夾持組件和基座，所述樣品底座與所述基座升降連接，每個所述夾持組件用于夾持一個待測樣本，每個所述夾持組件的底部與所述樣品底座通過萬向連接裝置萬向連接。
2.根據權利要求1所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，每個所述夾持組件包括：夾持底座和沿第一方向成對設置的兩個第一夾爪，每個所述第一夾爪與所述夾持底座沿所述第一方向滑動連接，兩個所述第一夾爪沿所述第一方向靠近或遠離，夾緊或松開所述待測樣本。
3.根據權利要求2所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，所述夾持底座沿所述第一方向開設有第一導向槽，每個所述第一夾爪底部設有第一滑塊，所述第一滑塊容置于所述第一導向槽內，并沿所述第一導向槽移動，帶動所述夾持底座滑動。
4.根據權利要求3所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，夾持組件還包括成對設置的兩個第一彈性元件和兩個第一緊固件，每個所述第一彈性元件的彈性方向沿所述第一方向設置，兩個所述彈性元件沿所述第一方向設置于兩個所述第一夾爪互相遠離的兩端，兩個所述第一緊固件沿所述第一方向固定于兩個所述第一彈性元件互相遠離
5.根據權利要求2所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，每個所述夾持組件還包括：沿第二方向成對設置的兩個第二夾爪，每個所述第二夾爪與所述夾持底座沿所述第二方向滑動連接，兩個所述第一夾爪沿所述第二方向靠近或遠離，夾緊或松開所述待測樣本，所述第二方向與所述第一方向在水平面互相垂直。
6.根據權利要求2所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，所述萬向連接裝置包括：球頭元件和外圈元件，所球頭元件與所述外圈元件球鉸鏈連接。
7.根據權利要求6所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，所述球頭元件設置于所述夾持底座的底部，所述外圈元件為所述樣品底座，所述樣品底座設有與所述球頭元件對應的腔室，所述球頭元件至少部分容置于所述腔室內。
8.根據權利要求1所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，所述掃描電鏡載物臺包括樣品底座和至少兩個所述夾持組件。
9.根據權利要求1所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，所述掃描電鏡載物臺還包括螺紋桿和蝶形螺栓，所述基座通過所述螺紋桿與所述樣品底座升降連接；所述蝶形螺栓用于將所述基座與所述螺紋桿固定。
10.一種掃描電鏡，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項所述的掃描電鏡載物臺。
...【技術特征摘要】
1.一種掃描電鏡載物臺，其特征在于，包括：樣品底座、至少一個夾持組件和基座，所述樣品底座與所述基座升降連接，每個所述夾持組件用于夾持一個待測樣本，每個所述夾持組件的底部與所述樣品底座通過萬向連接裝置萬向連接。
2.根據權利要求1所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，每個所述夾持組件包括：夾持底座和沿第一方向成對設置的兩個第一夾爪，每個所述第一夾爪與所述夾持底座沿所述第一方向滑動連接，兩個所述第一夾爪沿所述第一方向靠近或遠離，夾緊或松開所述待測樣本。
3.根據權利要求2所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，所述夾持底座沿所述第一方向開設有第一導向槽，每個所述第一夾爪底部設有第一滑塊，所述第一滑塊容置于所述第一導向槽內，并沿所述第一導向槽移動，帶動所述夾持底座滑動。
4.根據權利要求3所述的掃描電鏡載物臺，其特征在于，夾持組件還包括成對設置的兩個第一彈性元件和兩個第一緊固件，每個所述第一彈性元件的彈性方向沿所述第一方向設置，兩個所述彈性元件沿所述第一方向設置于兩個所述第一夾爪互相遠離的兩端，兩個所述第一緊固件沿所述第一方向固定于兩個所述第一彈性元件互相遠離的兩端，一個所述第一彈性元件設置于一個所述第一夾爪與一個所述第一緊固件之間，所述第一彈性元件用于提供...
【專利技術屬性】
技術研發人員：高鈺涵，陳云超，李焙，徐深秋，錢森森，
申請(專利權)人：超威電源集團有限公司，
類型：新型
國別省市：
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