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    非易失性半導體存儲器的UV編程系統和方法技術方案

    技術編號:9199363 閱讀:136 留言:0更新日期:2013-09-26 03:19
    本發明專利技術涉及非易失性半導體存儲器的UV編程系統和方法,半導體存儲器存儲器件包括設置在半導體襯底中的第一摻雜類型的第一和第二摻雜區域。第一類型的第一和第二摻雜區域彼此橫向隔開。柵極電介質在第一和第二摻雜區域之間的半導體襯底的上方延伸,并且浮柵設置在柵極電介質上。紫外線(UV)光阻隔材料垂直設置在浮柵之上并具有覆蓋浮柵的大小,使得在半導體存儲器器件暴露于UV光之后浮柵保持充電。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    一種半導體存儲器存儲器件,包括:第一摻雜類型的第一摻雜區域,設置在半導體襯底中,用于限定源極;所述第一摻雜類型的第二摻雜區域,設置在所述半導體襯底中,用于限定漏極,所述第二摻雜區域與所述第一摻雜區域橫向隔開;柵極電介質,在所述第一摻雜區域和所述第二摻雜區域之間的所述半導體襯底的上方延伸;浮柵,設置在所述柵極電介質上;以及紫外線(UV)光阻隔材料,垂直設置在所述浮柵的上方,所述UV光阻隔材料具有覆蓋所述浮柵的大小,使得在所述半導體存儲器存儲器件暴露于UV光之后所述浮柵保持充電。

    【技術特征摘要】
    ...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:陸湘臺林志賢
    申請(專利權)人:臺灣積體電路制造股份有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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