一種立式真空管式爐制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種立式真空管式爐，它包括下箱體，下箱體上設(shè)有支撐桿，支撐桿上設(shè)有爐體，下箱體上設(shè)有氣體流量控制裝置，支撐桿上設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐架，所述的旋轉(zhuǎn)支撐架通過法蘭固定連接有爐管，爐管內(nèi)部設(shè)有樣品放置架，樣品放置架兩側(cè)分別設(shè)有測溫傳感器和氣氛噴射器，且所述的旋轉(zhuǎn)支撐架上還設(shè)有升降按鈕，爐管通過旋轉(zhuǎn)支撐架沿支撐桿軸向旋轉(zhuǎn)，本實(shí)用新型專利技術(shù)利用了新型的結(jié)構(gòu)簡單，它可以實(shí)現(xiàn)薄膜生長，電極測試，也可作為氧化物晶體生長，退火等用途，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)快速升降溫，操作便捷，升溫速度高達(dá)100℃/min，節(jié)約了工時(shí)功效。（*該技術(shù)在2023年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種立式真空管式爐，它包括下箱體，下箱體上設(shè)有支撐桿，支撐桿上設(shè)有爐體，其特征在于：下箱體上設(shè)有氣體流量控制裝置，支撐桿上設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐架，所述的旋轉(zhuǎn)支撐架通過法蘭固定連接有爐管，爐管內(nèi)部設(shè)有樣品放置架，樣品放置架兩側(cè)分別設(shè)有測溫傳感器和氣氛噴射器，且所述的旋轉(zhuǎn)支撐架上還設(shè)有升降按鈕。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：孔令杰，
申請(專利權(quán))人：安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司，
類型：實(shí)用新型
國別省市：