【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)是一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，涉及磁芯檢測(cè)領(lǐng)域。
技術(shù)介紹
1、基片電堆燒結(jié)是電子制造領(lǐng)域中的一項(xiàng)重要工藝，它涉及到將基片與電堆中的其他組件在高溫環(huán)境下進(jìn)行結(jié)合，以達(dá)到所需的電氣性能和機(jī)械性能，當(dāng)基片進(jìn)行電堆燒結(jié)時(shí)，就是使用高溫處理使材料顆粒間產(chǎn)生相互鍵聯(lián)，從而減少空隙和氣孔，增加密度，形成致密的多晶燒結(jié)體。在基片電堆燒結(jié)中，通過(guò)加熱使基片與電堆中的其他材料(如電極、電解質(zhì)等)在高溫下相互粘結(jié)，形成一個(gè)完整的電堆結(jié)構(gòu)如果無(wú)法通過(guò)自動(dòng)化設(shè)備來(lái)執(zhí)行這一關(guān)鍵步驟，可能會(huì)帶來(lái)一系列問(wèn)題。以下是對(duì)可能出現(xiàn)問(wèn)題的詳細(xì)闡述：
2、無(wú)法自動(dòng)化意味著需要依賴人工操作進(jìn)行基片燒結(jié)。這將極大地增加操作過(guò)程中的不確定性和人為錯(cuò)誤的風(fēng)險(xiǎn)，缺乏自動(dòng)化設(shè)備的支持，燒結(jié)過(guò)程將難以達(dá)到精確控制。燒結(jié)過(guò)程中需要精確控制溫度、時(shí)間等參數(shù)，以確保基片達(dá)到所需的電氣性能和機(jī)械性能。人工操作往往難以達(dá)到這種精確控制，這可能導(dǎo)致燒結(jié)質(zhì)量的不均勻性，甚至可能損壞基片，因此，我們單位現(xiàn)亟需一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)來(lái)解決以上的問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)是通過(guò)如下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，包括：外支撐框架以及電堆部件，所述外支撐框架上端內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于與加壓部件安裝固定的上安裝板；
2、所述上安裝板內(nèi)部設(shè)有若干組用于螺栓貫穿連接的內(nèi)固定孔，所述上安裝板前側(cè)設(shè)有一組用于對(duì)電堆內(nèi)部基片提供壓力的加壓部件；
3、所述加壓部件上端后側(cè)與上安裝板通過(guò)螺栓連
4、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述加熱爐一與加熱爐二規(guī)格相同，所述加熱爐一以及加熱爐二下端均設(shè)有一組用于對(duì)加熱爐一以及加熱爐二左右移動(dòng)的滑座，所述滑座下端設(shè)有一組用于帶動(dòng)滑座導(dǎo)向移動(dòng)的移動(dòng)軌，能夠通過(guò)使用滑座以及移動(dòng)軌來(lái)根據(jù)不同大小的電堆部件來(lái)調(diào)節(jié)加熱爐一以及加熱爐二之間的距離。
5、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，兩組所述移動(dòng)軌下端設(shè)有一組用于將加熱爐一以及加熱爐二溫度進(jìn)行隔絕的內(nèi)隔溫?fù)醢澹鰞?nèi)隔溫?fù)醢逯虚g位置下端設(shè)有一組用于控制加熱爐一以及加熱爐二內(nèi)部溫度的控制箱，所述控制箱左右兩側(cè)均設(shè)有一組用于對(duì)控制箱內(nèi)部進(jìn)行散熱的側(cè)散熱板，能夠通過(guò)使用側(cè)散熱板來(lái)對(duì)控制箱內(nèi)部進(jìn)行散熱。
6、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述加壓部件包括側(cè)安裝架以及剛玉上壓桿。
7、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述側(cè)安裝架設(shè)有兩組，且分布在電缸的上下兩端后側(cè)，每組所述側(cè)安裝架均與電缸上下兩端通過(guò)螺栓連接固定，所述側(cè)安裝架右側(cè)橫截面為一種三角結(jié)構(gòu)；
8、兩組所述側(cè)安裝架前后兩側(cè)均設(shè)有一組用于電缸上下兩端定位的定位頭，兩組所述定位頭內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于對(duì)剛玉上壓桿施加向下壓力的電缸，所述電缸下端設(shè)有一組用于檢測(cè)電缸向下壓力的壓力傳感器，所述剛玉上壓桿上端設(shè)有一組用于對(duì)剛玉上壓桿溫度進(jìn)行冷卻的水冷散熱座，所述水冷散熱座橫截面為一種環(huán)形結(jié)構(gòu)，且水冷散熱座內(nèi)部設(shè)有一組水冷腔，所述水冷腔右側(cè)分別設(shè)有一組出水管以及進(jìn)水管，且出水管以及進(jìn)水管與外部冷卻液循環(huán)設(shè)備密封連接，能夠通過(guò)使用壓力傳感器來(lái)檢測(cè)電缸向下壓力，通過(guò)使用水冷散熱座來(lái)對(duì)剛玉上壓桿溫度進(jìn)行持續(xù)冷卻。
9、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述加熱爐一包括外殼板以及加熱腔，所述外殼板內(nèi)部設(shè)有若干組用于將內(nèi)聚熱層內(nèi)部熱量進(jìn)行排出的排熱漏網(wǎng)；
10、所述排熱漏網(wǎng)內(nèi)部設(shè)有若干組用于將內(nèi)隔溫座以及內(nèi)聚熱層內(nèi)部的熱量主動(dòng)排出的導(dǎo)熱風(fēng)機(jī)，所述導(dǎo)熱風(fēng)機(jī)以內(nèi)嵌安裝方式安裝在排熱漏網(wǎng)內(nèi)部，所述外殼板內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于將內(nèi)聚熱層外側(cè)熱量進(jìn)行隔絕的內(nèi)隔溫座，所述內(nèi)隔溫座為一種玻璃纖維材料制造而成，能夠通過(guò)使用內(nèi)隔溫座來(lái)將聚熱層外側(cè)熱量進(jìn)行隔絕。
11、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述內(nèi)隔溫座內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于將電加熱片熱量進(jìn)行匯集、保溫的內(nèi)聚熱層，所述內(nèi)聚熱層內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于對(duì)基片燒結(jié)的加熱腔；
12、所述加熱爐一與加熱爐二以電堆部件橫截面中心位置為基準(zhǔn)面進(jìn)行對(duì)稱設(shè)置，所述加熱爐一與加熱爐二下端分別與一組滑座通過(guò)螺栓連接固定，所述外殼板內(nèi)側(cè)、內(nèi)隔溫座內(nèi)側(cè)以及內(nèi)聚熱層內(nèi)側(cè)均設(shè)有一組用于與剛玉上壓桿外側(cè)嵌合的嵌槽，能夠通過(guò)使用加熱爐一以及加熱爐二內(nèi)部嵌槽來(lái)與剛玉上壓桿外側(cè)嵌合。
13、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述電堆部件包括碳化硅下基板以及電堆主體，所述碳化硅下基板下端設(shè)有若干組用于進(jìn)行支撐碳化硅下基板并將下端壓力傳遞至電堆主體的剛玉墊柱；
14、所述碳化硅下基板上端設(shè)有若干組用于對(duì)基片進(jìn)行燒結(jié)作業(yè)的電堆主體，所述電堆主體內(nèi)部設(shè)有若干組用于將外部氫氣導(dǎo)入的通氣內(nèi)腔，所述電堆主體內(nèi)部設(shè)有若干組用于裝載待燒結(jié)基片的基片燒結(jié)腔，若干租所述剛玉墊柱下端設(shè)有一組用于支撐剛玉墊柱的下支撐座，能夠通過(guò)使用電堆主體來(lái)將氫氣導(dǎo)入并對(duì)待燒結(jié)的基片進(jìn)行燒結(jié)作業(yè)。
15、作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，所述外支撐框架前側(cè)右端中間位置設(shè)有一組用于控制加熱爐一以及加熱爐二內(nèi)部電加熱片溫度、電缸伸縮長(zhǎng)度、壓力傳感器實(shí)時(shí)壓力檢測(cè)以及控制箱內(nèi)部控制設(shè)備啟動(dòng)的觸控一體面板，所述觸控一體面板下端設(shè)有一組用于對(duì)其支撐的調(diào)節(jié)支架，能夠通過(guò)使用觸控一體面板來(lái)控制加熱爐一以及加熱爐二內(nèi)部電加熱片溫度、電缸伸縮長(zhǎng)度、壓力傳感器實(shí)時(shí)壓力檢測(cè)以及控制箱內(nèi)部控制設(shè)備啟動(dòng)。
16、本專利技術(shù)的有益效果：通過(guò)使用加熱爐一以及加熱爐二來(lái)對(duì)電堆部件的左右兩端進(jìn)行均勻加熱，通過(guò)使用滑座以及移動(dòng)軌來(lái)根據(jù)不同大小的電堆部件來(lái)調(diào)節(jié)加熱爐一以及加熱爐二之間的距離；
17、通過(guò)使用側(cè)散熱板來(lái)對(duì)控制箱內(nèi)部進(jìn)行散熱，通過(guò)使用壓力傳感器來(lái)檢測(cè)電缸向下壓力，通過(guò)使用水冷散熱座來(lái)對(duì)剛玉上壓桿溫度進(jìn)行持續(xù)冷卻，通過(guò)使用內(nèi)隔溫座來(lái)將聚熱層外側(cè)熱量進(jìn)行隔絕；
18、通過(guò)使用加熱爐一以及加熱爐二內(nèi)部嵌槽來(lái)與剛玉上壓桿外側(cè)嵌合，通過(guò)使用電堆主體來(lái)將氫氣導(dǎo)入并對(duì)待燒結(jié)的基片進(jìn)行燒結(jié)作業(yè)，通過(guò)使用觸控一體面板來(lái)控制加熱爐一以及加熱爐二內(nèi)部電加熱片溫度、電缸伸縮長(zhǎng)度、壓力傳感器實(shí)時(shí)壓力檢測(cè)以及控制箱內(nèi)部控制設(shè)備啟動(dòng)。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，包括：外支撐框架(1)、加壓部件(5)、加熱爐一(6)以及電堆部件(11)，其特征在于：所述外支撐框架(1)上端內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于與加壓部件(5)安裝固定的上安裝板(4)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述加熱爐一(6)與加熱爐二(7)規(guī)格相同，所述加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)下端均設(shè)有一組用于對(duì)加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)左右移動(dòng)的滑座(9)，所述滑座(9)下端設(shè)有一組用于帶動(dòng)滑座(9)導(dǎo)向移動(dòng)的移動(dòng)軌(10)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：兩組所述移動(dòng)軌(10)下端設(shè)有一組用于將加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)溫度進(jìn)行隔絕的內(nèi)隔溫?fù)醢?2)，所述內(nèi)隔溫?fù)醢?2)中間位置下端設(shè)有一組用于控制加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)內(nèi)部溫度的控制箱(11e)，所述控制箱(11e)左右兩側(cè)均設(shè)有一組用于對(duì)控制箱(11e)內(nèi)部進(jìn)行散熱的側(cè)散熱板(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述加壓部件(5)包括側(cè)安裝架(51)、
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述側(cè)安裝架(51)設(shè)有兩組，且分布在電缸(53)的上下兩端后側(cè)，每組所述側(cè)安裝架(51)均與電缸(53)上下兩端通過(guò)螺栓連接固定，所述側(cè)安裝架(51)右側(cè)橫截面為一種三角結(jié)構(gòu)；
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述加熱爐一(6)包括外殼板(61)、內(nèi)隔溫座(64)、內(nèi)聚熱層(65)以及加熱腔(67)，所述外殼板(61)內(nèi)部設(shè)有若干組用于將內(nèi)聚熱層(65)內(nèi)部熱量進(jìn)行排出的排熱漏網(wǎng)(62)；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述內(nèi)隔溫座(64)內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于將電加熱片(66)熱量進(jìn)行匯集、保溫的內(nèi)聚熱層(65)，所述內(nèi)聚熱層(65)內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于對(duì)基片燒結(jié)的加熱腔(67)；
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述電堆部件(11)包括碳化硅下基板(11a)以及電堆主體(11f)，所述碳化硅下基板(11a)下端設(shè)有若干組用于進(jìn)行支撐碳化硅下基板(11a)并將下端壓力傳遞至電堆主體(11f)的剛玉墊柱(11b)；
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述外支撐框架(1)前側(cè)右端中間位置設(shè)有一組用于控制加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)內(nèi)部電加熱片(66)溫度、電缸(53)伸縮長(zhǎng)度、壓力傳感器(54)實(shí)時(shí)壓力檢測(cè)以及控制箱(11e)內(nèi)部控制設(shè)備啟動(dòng)的觸控一體面板(8)，所述觸控一體面板(8)下端設(shè)有一組用于對(duì)其支撐的調(diào)節(jié)支架。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，包括：外支撐框架(1)、加壓部件(5)、加熱爐一(6)以及電堆部件(11)，其特征在于：所述外支撐框架(1)上端內(nèi)側(cè)設(shè)有一組用于與加壓部件(5)安裝固定的上安裝板(4)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述加熱爐一(6)與加熱爐二(7)規(guī)格相同，所述加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)下端均設(shè)有一組用于對(duì)加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)左右移動(dòng)的滑座(9)，所述滑座(9)下端設(shè)有一組用于帶動(dòng)滑座(9)導(dǎo)向移動(dòng)的移動(dòng)軌(10)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：兩組所述移動(dòng)軌(10)下端設(shè)有一組用于將加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)溫度進(jìn)行隔絕的內(nèi)隔溫?fù)醢?2)，所述內(nèi)隔溫?fù)醢?2)中間位置下端設(shè)有一組用于控制加熱爐一(6)以及加熱爐二(7)內(nèi)部溫度的控制箱(11e)，所述控制箱(11e)左右兩側(cè)均設(shè)有一組用于對(duì)控制箱(11e)內(nèi)部進(jìn)行散熱的側(cè)散熱板(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述加壓部件(5)包括側(cè)安裝架(51)、水冷散熱座(55)以及剛玉上壓桿(56)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)控制電堆燒結(jié)系統(tǒng)，其特征在于：所述側(cè)安裝架(51)設(shè)有兩組，且分布在電缸(53)的上下兩端后側(cè)，每組所述側(cè)安裝架(51)均與...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王偉，朱沫浥，錢坤，江曉平，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：合肥科晶材料技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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