光波導(dǎo)路基板及其制造方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種光波導(dǎo)路基板及其制造方法，該光波導(dǎo)路基板具有利用簡單的結(jié)構(gòu)和工序就可將光學(xué)部件埋入由樹脂制成的光波導(dǎo)路層內(nèi)部的結(jié)構(gòu)，并且具有可使光波導(dǎo)路層表面平坦化的結(jié)構(gòu)。該光波導(dǎo)路基板包括：基板；在基板上沿著互相交叉的方向延伸的第一和第二芯部；具有使在第一和第二芯部之中的一個芯部中傳遞的光向另一個芯部反射的反射面的光學(xué)部件。光波導(dǎo)路層具有以夾住光學(xué)部件的狀態(tài)保持該光學(xué)部件的第一和第二支承部。這些第一和第二支承部分別由與第一和第二芯部相同的材料制成，而且與該第一和第二芯部一起形成于基板的主面上。另外，光學(xué)部件與第一和第二芯部一起由包層部覆蓋。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及。
技術(shù)介紹
為了使在光纖等光傳送媒體中傳送的光進行分支或耦合，目前使用光波導(dǎo)路基板。例如，埋入型的光波導(dǎo)路基板是在由Si等制成的基板上具有由傳遞光用的芯子和覆蓋該芯子的包層構(gòu)成的聚合物制的光波導(dǎo)路層。在這種光波導(dǎo)路基板上，有時與芯子長度方向交叉地設(shè)置有波長過濾器等光學(xué)部件。通常，光學(xué)部件在插入在例如光波導(dǎo)路基板的規(guī)定位置上形成的槽中的狀態(tài)下被固定。例如，在以下的專利文獻1～6中公開了具有上述結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)路基板。多數(shù)現(xiàn)有的光波導(dǎo)路基板，通過在基板上形成的光波導(dǎo)路層上作出由刻模制造的槽，并將光學(xué)部件插入該槽中，從而將該光學(xué)部件固定在光波導(dǎo)路層和基板上。另外，在以下的專利文獻7中公開了當(dāng)將光學(xué)部件(光學(xué)過濾器)插入刻模槽時，將用于矯正光學(xué)部件彎曲的壓入件與光學(xué)部件一起插入刻模槽的方法。作為上述以外的結(jié)構(gòu)例子，在以下的專利文獻8中公開了以在二塊光波導(dǎo)路基板之間夾住光學(xué)部件(濾光片)的狀態(tài)進行固定的光合分波器。專利文獻1特開平11-38240專利文獻2特開平11-52150專利文獻3特開平11-287916專利文獻4特開2000-131527專利文獻5特開2000-75155專利文獻6特開2002-243960專利文獻7特開2002-303772專利文獻8特開2005-77933本專利技術(shù)者們研究了上述現(xiàn)有的光波導(dǎo)路基板，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了以下這些問題。即，上述專利文獻中所述的多數(shù)現(xiàn)有的光波導(dǎo)路基板，利用紫外線固化樹脂等粘接劑，將光學(xué)部件固定在刻模槽中。然而，如上述專利文獻2所述，在光波導(dǎo)路基板中所使用的粘接劑中，具很充分的耐濕性、耐熱性的少，使光波導(dǎo)路基板的可靠性受到損害。另外，當(dāng)在光波導(dǎo)路基板的表面上產(chǎn)生由光學(xué)部件或粘接劑造成的凹凸時，難以穩(wěn)定地將例如光電二極管等光學(xué)器件放置在光波導(dǎo)路基板上。為了解決現(xiàn)有的光波導(dǎo)路基板所存在的這些問題，本專利技術(shù)者們提出了將光學(xué)部件埋入由樹脂制成的光波導(dǎo)路層內(nèi)部的光波導(dǎo)路基板。通過將光學(xué)部件埋入光波導(dǎo)路層的內(nèi)部，可以提供具有耐濕性和耐熱性、同時可靠性優(yōu)異的光波導(dǎo)路基板。另外，由于能夠?qū)⒐獠▽?dǎo)路層的表面作得平坦，所以可以穩(wěn)定地將光電二極管等器件放置在光波導(dǎo)路基板上。但是，在光波導(dǎo)路層由樹脂構(gòu)成的情況下，為了均勻地調(diào)整層厚，多數(shù)是利用例如旋涂這樣的方法來涂布形成光波導(dǎo)路層。因此，當(dāng)將光學(xué)部件埋入光波導(dǎo)路層內(nèi)時，最好是預(yù)先將光學(xué)部件保持在規(guī)定位置，以便不致將光學(xué)部件沖走。另外，即使在不使用旋涂法的情況下，由于當(dāng)光學(xué)部件的位置偏移時，光學(xué)部件和芯子的光耦合效率降低，所以最好是當(dāng)將光學(xué)部件埋入光波導(dǎo)路層內(nèi)時，預(yù)先將該光學(xué)部件保持在規(guī)定位置。在上述專利文獻7中，通過與壓入件一起將光學(xué)過濾器壓接在槽內(nèi)，從而將該光學(xué)過濾器固定在基板上。然而，采用這種固定方法，除了因需要另外的壓入件而使部件數(shù)增加以外，也存在將光學(xué)部件插入槽中的作業(yè)需要費工夫或時間等問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種，該光波導(dǎo)路基板具有通過簡單的結(jié)構(gòu)和工序、能夠?qū)⒐鈱W(xué)部件埋入由樹脂制成的光波導(dǎo)路層內(nèi)部的結(jié)構(gòu)，同時，具有能夠使光波導(dǎo)路層表面平坦化的結(jié)構(gòu)。為了解決上述問題，本專利技術(shù)的光波導(dǎo)路基板包括具有主面的基板、設(shè)置在該基板主面上的光波導(dǎo)路層和光學(xué)部件。光波導(dǎo)路層是設(shè)置在基板的主面上由樹脂制成的層，它具有沿第一方向延伸的第一芯部、沿著與該第一方向交叉的第二方向延伸的第二芯部和覆蓋該第一和第二芯部的包層部。光學(xué)部件具有反射規(guī)定波長的光的反射面。另外，光學(xué)部件設(shè)置在基板的主面上，使反射面將在第一和第二芯部中的一個芯部中傳遞的光向另一個芯部反射。特別是，在本專利技術(shù)的光波導(dǎo)路基板中，光波導(dǎo)路層還具有以夾住光學(xué)部件的狀態(tài)來保持該光學(xué)部件的第一和第二支承部。該第一和第二支承部分別由與第一和第二芯部相同的材料制成而且與該第一和第二芯部一起在基板的主面上形成。另外，光學(xué)部件與第一和第二芯部一起由包層部覆蓋。在具有上述結(jié)構(gòu)的該光波導(dǎo)路基板上，光波導(dǎo)路層具有以相互之間夾入光學(xué)部件的狀態(tài)來保持該光學(xué)部件的第一和第二支承部。而且，該第一和第二支承部用與第一和第二芯部相同的材料制成，而且與該第一和第二芯部一起在基板的主面上形成。因此，在基板的主面上同時形成第一芯部、第二芯部、第一支承部和第二支承部后，在第一支承部和第二支承部之間夾入光學(xué)部件的狀態(tài)下(第一和第二支承部將光學(xué)部件保持在規(guī)定位置的狀態(tài))，可形成由樹脂制成的包層部，以便同時覆蓋第一芯部、第二芯部、第一支承部、第二支承部和光學(xué)部件。這樣，采用該光波導(dǎo)路基板，由于能夠利用可簡易形成的第一支承部和第二支承部保持光學(xué)部件，并用包層部覆蓋該光學(xué)部件，所以即使在利用例如旋涂形成包層部的情況下，也可以利用簡單的結(jié)構(gòu)將光學(xué)部件埋入光波導(dǎo)路層內(nèi)部，而不會被樹脂沖走。由此，可得到容易制造、具有耐濕性和耐熱性、可靠性高的光波導(dǎo)路基板。另外，與用粘接劑將光學(xué)部件固定在槽中的現(xiàn)有光波導(dǎo)路基板不同，在本專利技術(shù)的光波導(dǎo)路基板中，由于用包層部覆蓋(埋入)光學(xué)部件，所以也容易使該光波導(dǎo)路基板表面平坦化。另外，在本專利技術(shù)的光波導(dǎo)路基板中，第一和第二支承部分別用與第一和第二芯部相同的材料制成，而且包含與第一和第二芯部一起在基板的主面上形成的部分。由于這樣，利用形成第一和第二芯部時的掩模也同時形成第一和第二支承部，由此，可以高精度地調(diào)節(jié)第一和第二支承部相對于第一和第二芯部的形成位置。在這種情況下，采用該光波導(dǎo)路基板，可用少的工序，高精度地進行光學(xué)部件的定位。而且，在本專利技術(shù)的光波導(dǎo)路基板中，由于用覆蓋第一和第二芯部的包層部也覆蓋光學(xué)部件，故可以由包層部防止塵埃侵入第一芯部、第二芯部和光學(xué)部件的反射面的間隙中，同時，該間隙可用包層部填埋。在這種情況下，采用該光波導(dǎo)路基板，可省去將折射率調(diào)整用的粘接劑等注入光學(xué)部件和芯部的間隙中的工序。在這種情況下，可不增加制造工序中，可有效地減少第一和第二芯部與光學(xué)部件間的光損失。本專利技術(shù)的光波導(dǎo)路基板可包括具有二種包層部的光波導(dǎo)路層。即，該光波導(dǎo)路基板包括具有主面的基板、設(shè)置在基板的主面上由樹脂制成的光波導(dǎo)路層和光學(xué)部件。光波導(dǎo)路層具有沿著互相交叉的方向延伸的第一和第二芯部、覆蓋該第一和第二芯部的第一包層部、和覆蓋該第一包層部和光學(xué)部件的第二包層部。這時，在光波導(dǎo)路層，第一包層部具有收容光學(xué)部件的光學(xué)部件收容槽、和在光學(xué)部件收容槽側(cè)面上形成的以相互之間夾入光學(xué)部件狀態(tài)保持該光學(xué)部件的第一和第二支承部。在具有上述結(jié)構(gòu)的該光波導(dǎo)路基板中，第一包層部具有以相互間夾入光學(xué)部件的狀態(tài)來保持該光學(xué)部件的第一和第二支承部。因此，對于在主面上與第一和第二芯部一起形成第一包層部的基板，形成由樹脂制成的第二包層部，以便覆蓋以夾入第一支承部和第二支承部之間的狀態(tài)保持于光學(xué)部件收容槽內(nèi)的光學(xué)部件的同時覆蓋第一包層部。在這種情況下，采用該光波導(dǎo)路基板，能夠利用可簡單地形成的第一和第二支承部保持光學(xué)部件，并能夠用第二包層部覆蓋該光學(xué)部件。即使在利用例如旋涂形成第二包層部的情況下，也可以利用簡單的結(jié)構(gòu)將光學(xué)部件埋入光波導(dǎo)路層內(nèi)部，而不會被樹脂沖走。其結(jié)果是，可得到容易制造、同時具有耐濕性的耐熱性、而且可靠性高的光波導(dǎo)路基板。另外，與用粘接劑將光學(xué)部件固定在槽中的現(xiàn)有光波導(dǎo)路基板不同，在本專利技術(shù)本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種光波導(dǎo)路基板，它包括：具有主面的基板；設(shè)置在所述基板的所述主面上且由樹脂制成的光波導(dǎo)路層，該光波導(dǎo)路層具有沿著第一方向延伸的第一芯部、沿著與該第一方向交叉的第二方向延伸的第二芯部、和覆蓋該第一和第二芯部的包層部；和　 　具有反射規(guī)定波長的光的反射面的光學(xué)部件，該光學(xué)部件配置在所述基板的所述主面上，使得在所述第一和第二芯部之中的一個芯部中傳遞的光通過所述反射面向另一個芯部反射；其特征在于：所述光波導(dǎo)路層還具有以夾入狀態(tài)保持所述光學(xué)部件的第一和第二支 承部，該第一和第二支承部分別由與所述第一和第二芯部相同的材料制成，并且與該第一和第二芯部一起形成于所述基板的所述主面上，所述光學(xué)部件與所述第一和第二芯部一起由所述包層部覆蓋。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：能野隆文，柴山勝己，
申請(專利權(quán))人：浜松光子學(xué)株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：JP[日本]